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微机电系统及其相关技术

微机电系统及其相关技术

定　价：¥15.00

作　者： 章吉良，杨春生编著
出版社： 上海交通大学出版社
丛编项：
标　签： 机电系统，微型

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ISBN： 9787313023070 出版时间： 1999-01-01 包装：
开本： 26cm 页数： 163页 字数：  

内容简介

　　本书介绍了微机电系统概论；高深宽比微加工技术；微传感器与微执行器；键合技术；微机电系统的相关电路及应用实例等。

作者简介

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