电子束离子束技术

　　本书主要介绍电子束离子束的产生、引出、加速和偏转的工作原理，物理过程和主要部件等内容，并通过电子束离子束在微电子领域中的应用，进一步阐述了它与纳米技术信息相关的扫描隧道显微镜技术。本书为高等学校微电子技术专业的教科书。

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