MEMS技术及其应用

第一章　绪论
　1.1　MEMS的定义
　1.2　国内外研究概况及展望
　1.3　纳米技术及展望
第二章　MEMS基础理论
　2.1　尺寸效应
　2.2　微机械常用材料
　2.3　微构造的机械特征
　2.4　微构造的振动特征
　2.5　微构造的热特征
　2.6　摩擦磨耗的减小办法
　2.7　微流路中液体的流动
　2.8　微机械的驱动原理
　2.9　超小型机械实现的障碍及对策
第三章　微机械制造技术
　3.1　概述
　3.2　体加工工艺
　3.3　硅表面微机械加工技术
　3.4　结合加工
　3.5　逐次加工
　3.6　LIGA技术
　3.7　微机械加工技术中的微电子工艺和设备
　3.8　本章小结
第四章　MEMS CAD辅助分析设计
　4.1　ANSYS的主要技术特点
　4.2　ANSYS使用上几个应注意的问题
　4.3　ANSYS的分析步骤
　4.4　微型电磁继电器受力及磁场分布的ANSYS模拟
　4.5　仿真分析一些经验
　4.6　本章小结
第五章　微传感器
　5.1　传感器的基本物理效应
　5.2　压阻效应与半导体应变传感器
　5.3　电容式三维加速度计
　5.4　振动式微陀螺仪
　5.5　微型热式温度传感器
　5.6　微型光栅读码器
　5.7　微型磁通门
第六章　微操作器
　6.1　静电型微操作器
　6.2　电磁型微操作器
　6.3　热膨胀型微操作器
　6.4　压电型微操作器
　6.5　微机械零件
第七章　微机电系统　
第八章　生物芯片
参考文献