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抗蚀剂及其微细加工技术

抗蚀剂及其微细加工技术

定　价：¥6.50

作　者：	顾振军，孙猛主编
出版社：	上海交通大学出版社
丛编项：
标　签：	集成电路耐蚀材料集成电路工艺

ISBN：	9787313006172	出版时间：	1989-03-01	包装：
开本：	26cm	页数：	236页	字数：

内容简介

　　本书以作为微电子器制造时的核心的抗蚀剂及其微细加工技术为对象，就其定义、沿革、工艺、反应理论、配套技术、各类抗蚀剂、分析测试及应用、展望等进行了全面详述。

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