目 录
前言
绪论
上篇 电子光学原理和系统
第一章 旋转对称静电场和静磁场
1.1旋转对称静电场
一 旋转对称静电场的级数表示法
二 旋转对称电场的近轴性质
三 旋转对称静电场的力函数流函数
1.2旋转对称静磁场
一 旋转对称磁场的矢量磁位
二 旋转对称磁场的级数表达式
三 旋转对称磁场的近轴性质
四 旋转对称磁场的标量磁位
第二章 静电磁场中带电粒子的运动
2.1电子及其运动的基本概念
一 电子的电荷和质量
二 罗仑兹力和电子运动方程式
三 能量关系式
2.2电子轨迹方程
一 直角坐标系中的轨迹方程
二 圆柱坐标系中的轨迹方程
2.3旋转对称电磁场中电子近轴轨迹方程
一 旋转对称电场中近轴轨迹方程
二 复合场中近轴轨迹方程
2.4旋转对称电磁场的聚焦成像性能
一 旋转对称电场的理想成像
二 复合场中的理想成像
2.5电子光学系统尺寸变换时的轨迹相似性
一 零初速、无磁场,九空间电荷
二 零初速、有磁场、无空间电荷
三 零初速、无磁场、有空间电荷
四 有初速、无磁场、无空间电荷
五 有初速、无磁场有空间电荷
附录I 最小作用量原理和普遍情况下的电子光学折
射率
一 最小作用量原理
二 普遍情况下的电子光学折射率
附录Ⅱ 光学方法推导电子轨、迹方程
附录Ⅲ 相对论修正下的普遍轨迹方程
第三章 电子透镜
3.1电子透镜的参量及其基本关系式
一 电子透镜的基点
二 朗斯基行列式
三 电子透镜的成像关系式
3.2静电透镜的焦距和主平面位置
一 静电透镜的焦距公式
二 静电透镜的主平面
3.3 电子透镜的矩阵表示
一 薄透镜的矩阵表示和薄透镜的组合
二 薄透镜物像关系的矩阵计算
三 厚透镜的矩阵表示
3.4 静电透镜的分类和性能分析
一 静电透镜的分类和特征
二 静电透镜的轴上电位和性能分析
3.5 磁透镜
一 均匀磁场的聚焦作用 长磁通镜
二 旋转对称磁场的透镜作用
三 短磁透镜
四 磁透镜的场分布
五 钟形磁场中的电子运动轨迹和电子光学参量
第四章 电子光学系统的像差
4.1几何像差
一 几何像差的一般数学表示
二 几何像差的复数表示
4.2各种几何像差的定义和相应的图形
一 球差
二 彗形像差
三 像散、场曲和畸变
4.3球差系数C3的计算
4.4色差
一 像位色差
二 放大色差
三 转角色差
四 色差系数Cc的计算
4.5空间电荷像差
4.6电场的非旋转对称性产生的像差
4.7电子的波性与衍射像差
一 惠更斯-菲涅尔原理
二 圆孔光阑的夫琅和费衍射和成像系统的分辨
率
第五章 电子束的偏转
5.1偏转系统的一般要求
5.2静电偏转
一 平行板静电偏转系统
二 倾斜板静电偏转系统
三 多折板静电偏转系统
四 静电偏转板的对称供电
五 静电偏转盒
5.3磁偏转
一 均匀磁场的偏转灵敏度
二 实用的偏转线圈结构
5.4偏转解聚
一 静电偏转的偏转解聚
二 磁偏转的偏转解聚
第六章 非旋转对称电子光学系统
6.1柱面透镜
6.2静电四极场透镜
一 静电四极场的构成及其空间电位分布
二 静电四极场中的电子运动轨迹
三 静电四极透镜的焦距
四 电子运动的相对论修正
五 静电四极透镜的应用
6.3 磁四极透镜
一 磁四极透镜的构成和空间磁场分布
二 磁四极透镜中带电粒子运动轨迹和焦距 主平面位置
三 带电粒子运动的相对论修正
四 四极透镜对和双聚焦条件
五 周期四极透镜
附录I 转换矩阵的判别式
第七章 电子枪
7.1细束电子枪的基本结构
7.2 细束电子枪的发射系统
一 发射系统中的电子运动和交叠点的形成
二 交叠点截面的大小
三 交叠点截面的电流密度分布
四 交叠点截面的位置
五 发射系统的特性参量
六 发射系统的替代法设计
七 四极式发射系统
7.3细束电子枪的主聚焦系统(主透镜)
一 静电聚焦电子枪
二 新型的静电透镜
三 磁聚焦电子枪 磁透镜与静电透镜的比较
7.4电子枪发射系统与主聚焦系统的匹配
7.5细束电子枪的新型式
一 层流枪
二 低能枪
三 场发射枪
7.6强流电子枪
一 矩形截面平行电子注的皮尔斯电子枪
二 圆柱形平行电子注的皮尔斯电子枪
三 锥形电子注的皮尔斯电子枪
四 阳极孔的发散效应
第八章 电子光学的相空间理论
8.1相空间、系综及刘维定理
一 相空间与系综
二 刘维定理
三 相面积、发射度与接收度
8.2 电子光学系统中电子运动的相空间表示
一 线性力作用下的粒子运动的相图
二 四极场透镜中粒子束运动的相空间分析
三 旋转对称电子光学系统的相空间分析
8.3电子束传输的相椭圆变换
一 相椭圆的矩阵方程
二 粒子束传输过程的椭圆变换
三 相椭圆系数矩阵σ的物理意义
四 束流的匹配传输
8.4相空间理论与传统电子光学理论比较
第九章 电子光学传递函数和儡质评价
9.1传递函数的数理基础
一 傅里叶级数
二 傅里叶变换
三 常见函数的傅里叶变换
四 傅里叶变换的若干性质
五 卷积
六 相关
9.2光学传递函数
一 基本概念
二 光学传递函数
三 光学传递函数与光瞳函数的关系
9.3电子光学传递函数与像质评价
一 电子光学传递函数与像质评价
二 电子光学调制传递函数(MTF)的测量
第十章 静电电子能量分析器及其电子光学
10.1平板镜式分析器
10.2柱形偏转分析器
10.3球形偏转分析器
10.4筒镜分析器
一 带电粒子的运动方程及轨迹
二 角度像差
三 筒镜分析器的最佳工作参数
上篇参考文献
下篇 电子光学系统的计算机辅助设计
第十一章 电磁场计算
11.1有限差分法
一 二维拉普拉斯方程和泊松方程的差分格式
二 差分方程求解——迭代法
三 空间电荷密度的计算
四 边界处理
五 有限差分法计算磁场
11.2有限元法
一 有限元法的变分原理基础
二 二维拉普拉斯方程有限元解法
三 二维泊松方程的有限元解法
四 磁场的有限元法计算
五 有限元法与有限差分法的比较
11.3边界元法
一 加权余量表示式的建立
二 边界元法的基本原理
三 边界元方程的数值计算
四 边界元法和有限元法计算框图比较
11.4计算空间电荷场的非交替法
附录I 电子光学中几种常用的数学方法
一 求解线性代数方程组的高斯消去法
二 矩阵作一维表示的消去法
三 矩阵作一维表示的有限元法中的总体合成
第十二章 电子轨迹和电子光学参量的计算
12.1运动方程的数值计算
一 降阶法
二 级数展开法
三 小步抛物线法
12.2轨迹方程的数值计算
一 龙格-库塔法
二 纽莫洛夫公式
12.3电子光学参量的计算
一 电子透镜主平面的确定和基点参量的计算
二 像差系数的计算
第十三章 电子光学系统的最优化设计
13.1最优化基本原理和方法
一 最优化基本问题
二 最优化问题的基本解法
13.2单纯形法——无约束最优化方法
13.3复合形法——有约束最优化方法
一 复合形法迭代
二 检验调整能行点方法
13.4单纯形法和复合形法计算实例与结果
13.5鲍威尔法
下篇参考文献
基本物理常数