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等离子体与成膜基础

等离子体与成膜基础

定　价：¥11.40

作　者： （日）小沼光晴著；张光华编译
出版社： 国防工业出版社
丛编项：
标　签： 等离子体物理学∶薄膜物理学 薄膜物理学∶等离子体物理学
ISBN： 9787118011418 出版时间： 1994-06-01 包装：
开本： 19cm 页数： 238页 字数：  

内容简介

　　分：等离子体的概念和状态、低温等离子体与成膜、非晶硅薄膜的高速沉积等9章。

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