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等离子体与成膜基础

等离子体与成膜基础

定　价：¥11.40

作　者：	（日）小沼光晴著；张光华编译
出版社：	国防工业出版社
丛编项：
标　签：	等离子体物理学∶薄膜物理学薄膜物理学∶等离子体物理学

ISBN：	9787118011418	出版时间：	1994-06-01	包装：
开本：	19cm	页数：	238页	字数：

内容简介

　　分：等离子体的概念和状态、低温等离子体与成膜、非晶硅薄膜的高速沉积等9章。

作者简介

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