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电子工业生产技术手册（8 半导体与集成电路卷）

电子工业生产技术手册（8 半导体与集成电路卷）

定　价：¥55.10

作　者：	《电子工业生产技术手册》编委会编
出版社：	国防工业出版社
丛编项：
标　签：	电子工业半导体器件集成电路

ISBN：	9787118004960	出版时间：	1992-05-01	包装：	精装
开本：	26cm	页数：	1022页	字数：

内容简介

　　本书共16章。阐述了化合物半导体器件及集成电路的清洗与腐蚀、外延、离子注入通用工艺，同时介绍了包括微波及毫米波二端器件、场效应器件的设计与制造与可靠性，及新器件和集成技术。

作者简介

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