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硅化物及其在超大规模集成电路中的应用

硅化物及其在超大规模集成电路中的应用

定　价：¥1.30

作　者：	（美）穆拉尔卡（Murarka，S.P.）著；赵英译
出版社：	南开大学出版社
丛编项：
标　签：	硅化物

ISBN：	9787310000463	出版时间：	1987-06-01	包装：	精装
开本：	20cm	页数：	192页	字数：

内容简介

　　本书较系统地介绍了各种硅化物，探讨了在超大规模集成电路中作为栅、内部互连线以及线的低电阻接触的可应用性，总结了取得的成果，提出了存在的问题和今后研究的方向。

作者简介

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