新型传感器技术及应用

     目录
   第一章 传感器敏感材料
    一、半导体硅材料
    1.单晶硅
    2.多晶硅
    3.非晶体硅
    4.硅蓝宝石
    二、化合物半导体材料
    三、石英敏感材料
    1.石英晶体
    2.石英玻璃
    四、精密陶瓷材料
    五、ZnO薄膜
    六、铁电聚合物
    七、非晶态磁性合金
    八、形状记忆合金
    九、复合材料
    思考题
    参考文献
   第二章 微机械加工技术
    一、概 述
    二、硅微机械加工技术
    1.刻蚀技术
    2.薄膜技术
    3.薄膜参数及其测量方法
    4.固相键合工艺
    三、X射线深层光刻电铸成型技术
    四、微型传感器结构
    思考题
    参考文献
   第三章 传感器的建模
    一、概 述
    二、理论基础
    1.弹性体的力平衡方程
    2.弹性体的几何方程
    3.弹性体的物理方程
    4.弹性体的弹性势能
    5.弹性体外力的功
    6.虚功原理
    7.弹性体的动能
    8.弹性体的能量泛函原理
    9.Hamilton原理
    10.建模的一般方法
    三、梁的建模
    1.受轴向力两端固支梁
    2.改型悬臂梁
    四、平膜片的建模
    1.周边固支的平膜片
    2.近似解析解
    3.算 例
    4.结 论
    五、波纹膜片的建模
    1.受均布压力的波纹膜片
    2.受集中力的波纹膜片
    3.算 例
    六、E型膜片的建模
    1.基本方程
    2.受集中力的E型膜片
    3.受均布压力的E型膜片
    4.算 例
    七、带有顶盖的圆柱壳的建模
    1.基本方程
    2.圆柱壳环单元的有限元列式
    3.算 例
    八、顶端开口圆柱壳的建模
    1.基本方程
    2.底端约束的特征
    3.约束因子
    九、半球壳的建模
    1.简 述
    2.半球壳的振动方程
    3.半球壳的振型进动特性
    4.半球壳的耦合振动
    思考题
    参考文献
   第四章 硅电容式集成传感器
    一、概 述
    二、硅电容式集成压力传感器
    三、硅电容式集成压力传感器的接口电路
    1.开关－电容接口电路
    2.电容频率变换电路
    四、硅电容式加速度传感器
    思考题
    参考文献
   第五章 谐振式传感器
    一、概 述
    二、谐振式传感器的基础理论
    1.基本结构
    2.闭环自激
    3.敏感机理
    4.谐振子的Q值
    5.设计要点
    6.特征与优势
    三、振动筒压力传感器
    1.简 述
    2.压电激励特性
    3.拾振信号的转换
    4.稳定的单模态自激系统的实现
    5.双重模态的有关问题
    四、谐振式角速率传感器
    1.简 述
    2.压电激励谐振式圆柱壳角速率传感器
    3.静电激励半球谐振式角速率传感器
    五、谐振式直接质量流量传感器
    1.简 述
    2.测量理论
    六、硅微结构谐振式传感器
    1.简 述
    2.热激励方式
    3.差动式硅谐振微传感器
    思考题
    参考文献
   第六章 声表面波传感器
    一、概 述
    二、声表面波技术基础知识
    1.声表面波的类型
    2.声表面波的主要性质
    3.声表面波叉指换能器
    三、声表面波传感器理论基础
    1.声表面波振荡器的结构组成及其工作原理
    2.测量各种物理量的理论分析
    四、各种声表面波传感器
    1.SAW压力传感器
    2.SAW加速度传感器
    3.SAW气体传感器
    4.SAW角速度传感器
    5.SAW流量传感器
    思考题
    参考文献
   第七章 薄膜传感器
    一、概 述
    二、几种薄膜传感器
    1.薄膜应变电阻及传感器
    2.薄膜热敏元件及传感器
    3.薄膜气敏元件及传感器
    4.薄膜磁敏元件及传感器
    思考题
    参考文献
   第八章 光纤传感器
    一、概 述
    二、光纤的导波原理
    三、光纤的传输损耗
    1.吸收损耗
    2.散射损耗
    3.辐射损耗
    四、强度调制光纤传感器
    1.光纤微弯传感器
    2.反射式光纤位移传感器
    3.反射式光纤压力传感器
    4.半导体吸收式光纤温度传感器
    5.折射率调制光纤传感器
    五、相位调制光纤传感器
    1.马赫－泽德尔干涉仪
    2.萨格纳克干涉仪
    3.法布里－泊罗干涉仪
    4.迈克尔逊干涉仪
    六、偏振态调制光纤传感器
    1.光纤电流传感器
    2.光纤电压传感器
    3.偏振态调制型光纤加速度传感器
    七、频率调制光纤传感器
    八、分布式光纤传感器
    1.概 述
    2.损伤评估
    3.应变测量
    4.OTDR测量原理
    思考题
    参考文献
   第九章 场效应管型化学传感器
    一、离子敏传感器
    1.MOSFET的基本原理
    2.ISFET的工作原理
    3.ISFET敏感膜的种类
    4.ISFET的结构
    5.多功能ISFET
    6.ISFET的特点
    7.ISFET的应用
    二、气敏传感器
    1.氢气敏MOSFET
    2.一氧化碳气敏PdMOSFET
    3.氧化敏MOSFET
    4.氨气敏MOSFET
    三、湿敏传感器
    思考题
    参考文献
   第十章 固态成象传感器
    一、概 述
    二、CCD的基本结构与MOS 电容器
    1.结构
    2.MOS电容器与CCD
    3.CCD的基本工作原理
    三、CCD成象传感器
    1.线列CCD成象传感器
    2.面阵CCD成象传感器
    四、CCD成象传感器的主要特性
    1.调制传递函数（MTF）
    2.输出饱和特性
    3.暗电流
    4.灵敏度
    5.光谱响应及背面照光
    6.信噪比与动态范围
    五、红外固态成象传感器
    1.引 言
    2.混合式IRCCD传感器
    3.单片集成式IR－CCD传感器
    六、微光CCD象传感器
    思考题
    参考文献
   第十一章Smart传感器
    一、Smart传感器的含义
    二、基本传感器
    三、Smart传感器中的软件
    1.标度变换技术
    2.数字调零技术
    3.非线性补偿
    4.温度补偿
    5.数字滤波技术
    四、应 用
    五、发展前景
    思考题
    参题文献