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外延生长技术

外延生长技术

定 价:¥15.90

作 者: 杨树人,丁墨元编著
出版社: 国防工业出版社
丛编项:
标 签: 外延生长

ISBN: 9787118009187 出版时间: 1992-07-01 包装: 精装
开本: 20cm 页数: 482页 字数:  

内容简介

  共包括:外延生长概述,衬底的制备、气相外延生长、硅气相外延生长、液相外延生长、固相外延生长、异质外延生长等内容。

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