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离子束技术及应用

离子束技术及应用

定　价：¥15.80

作　者：	刘金声编著
出版社：	国防工业出版社
丛编项：
标　签：	离子束

ISBN：	9787118013122	出版时间：	1995-01-01	包装：
开本：	21cm	页数：	315页	字数：

内容简介

　　本书分六章：电子轰击离子源等离子体特性及设计基础; 离子光学系统及基本设计方法; 离子源结构设计优化法; 离子源阴极的设计方法; 离子束刻蚀（IBE）工艺基础; IBE在器件制造中的应用.

作者简介

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