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集成电路制造技术：原理与实践

集成电路制造技术：原理与实践

定　价：¥7.65

作　者：	庄同曾等编
出版社：	电子工业出版社
丛编项：
标　签：	集成电路工艺

ISBN：	9787505301740	出版时间：	1987-11-01	包装：
开本：	26cm	页数：	725页	字数：

内容简介

　　本书是一本较全面地介绍集成电路制造技术的书籍，共分16章，包括单晶制备，芯片制造，化学气相淀积，完美晶体工艺等。

作者简介

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