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微电子技术

微电子技术

定　价：¥10.60

作　者：	王守觉等编著
出版社：	上海科学技术出版社
丛编项：	现代高技术丛书
标　签：	微电子技术

ISBN：	9787532333523	出版时间：	1994-01-01	包装：
开本：	20cm	页数：	208页	字数：

内容简介

　　内容包括：微电子学的基本原理、集成电路的微细图形加工技术、微电子技术加工工艺、微电子技术的应用及其发展前景。

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