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固体电子学中的等离子体技术

固体电子学中的等离子体技术

定　价：¥3.30

作　者： 钱振型主编
出版社： 电子工业出版社
丛编项：
标　签： 半导体器件 等离子体加工 低温
ISBN： 9787505300965 出版时间： 1987-11-01 包装：
开本： 26cm 页数： 310页 字数：  

内容简介

　　高等学校教学用书。

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