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固体电子学中的等离子体技术

固体电子学中的等离子体技术

定　价：¥3.30

作　者：	钱振型主编
出版社：	电子工业出版社
丛编项：
标　签：	半导体器件等离子体加工低温

ISBN：	9787505300965	出版时间：	1987-11-01	包装：
开本：	26cm	页数：	310页	字数：

内容简介

　　高等学校教学用书。

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