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微电子生产工艺实用手册

微电子生产工艺实用手册

定　价：¥10.50

作　者： 王家源，刘长恩主编
出版社： 电子工业出版社
丛编项：
标　签： 微电子技术
ISBN： 9787505315273 出版时间： 1992-06-01 包装：
开本： 20cm 页数： 437页 字数：  

内容简介

　　本书共收入了微电子产品制造技术、生产工艺、生产装置、成套设备、检测仪器、原辅材料、辅助设施、工具及零部件等方面的词条900余条，并附汉-英和英-汉词条索引。

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