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集成电路工艺基础

集成电路工艺基础

定　价：¥7.25

作　者：	王阳元等编著
出版社：	高等教育出版社
丛编项：	固体物理教学丛书
标　签：	暂缺

ISBN：	9787040033144	出版时间：	1991-01-01	包装：
开本：	21cm	页数：	610页	字数：

内容简介

　　本书主要内容有：硅晶体结构，扩散、离子注入、外延、氧化、化学汽相淀积、光刻、刻蚀等十二章。

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