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实用集成电路工艺手册

实用集成电路工艺手册

定　价：¥12.50

作　者：	沈文正等编
出版社：	宇航出版社
丛编项：
标　签：	集成电路

ISBN：	9787800342059	出版时间：	1989-01-01	包装：
开本：	26cm	页数：	423页	字数：

内容简介

　　本书辑录了集成电路制作所涉及的所有工艺，如硅材料、氧化、扩散、光刻与制版、化学气相淀积、钝化技术、净化与清洗、工艺模拟等。

作者简介

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