注册 | 登录读书好，好读书，读好书！

当前位置：首页出版图书科学技术工业技术无线电电子学、电信技术大规模集成电路工厂洁净技术

大规模集成电路工厂洁净技术

大规模集成电路工厂洁净技术

定　价：¥24.00

作　者：	（日）铃木道夫等著；陈衡等译
出版社：	电子工业出版社
丛编项：
标　签：	大规模集成电路工厂净化

ISBN：	9787505306677	出版时间：	1990-09-01	包装：
开本：	26cm	页数：	522页	字数：

内容简介

　　本书阐述了当前大规模集成电路生产工艺对洁净技术的要求和今后发展方向、超级洁净室的设计、施工技术问题和应采取的措施、辅助设施超纯水、药品、废水处理和高纯气体等最新应用技术以及洁净室运行管理问题。

作者简介

暂缺《大规模集成电路工厂洁净技术》作者简介

图书目录

暂缺《大规模集成电路工厂洁净技术》目录

本目录推荐