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机电产品微细加工技术与工艺

机电产品微细加工技术与工艺

定　价：¥5.40

作　者：	胡耀志等编著
出版社：	广东科技出版社
丛编项：
标　签：	机电

ISBN：	9787535909572	出版时间：	1993-02-01	包装：
开本：	19cm	页数：	365页	字数：

内容简介

　　本书从机电一体化的角度，论述了精密机械和微电子技术这两方面的微细加工技术与工艺，介绍了集成电路的生产技术、工艺原理和加工方法。

作者简介

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