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微细加工技术

微细加工技术

定　价：¥3.35

作　者：	蒋欣荣编著
出版社：	电子工业出版社
丛编项：	高等学校教材
标　签：	特种加工

ISBN：	9787505308619	出版时间：	1990-06-01	包装：
开本：	20cm	页数：	405页	字数：

内容简介

　　本书介绍了利用电子束、离子束、光子束、原子束、等离子体、超声等手段，对不同材料进行各种光刻、刻蚀、制膜、掺杂、退火和材料改性及切削、焊接、打孔等微细加工的原理、方法和工艺过程等。

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