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多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用

多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用

定　价：¥7.50

作　者：	王阳元，（美）T.I.卡明斯（T.I.Kamins）编著
出版社：	科学出版社
丛编项：
标　签：	多晶集成电路

ISBN：	9787030003089	出版时间：	1988-08-01	包装：	平装
开本：	20cm	页数：	522页	字数：

内容简介

　　本书介绍了多晶硅薄膜的性质及其在MOS和双极型集成电路中的应用。

作者简介

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