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超大规模集成电路工艺学

超大规模集成电路工艺学

定　价：¥4.80

作　者：	（美）史西蒙（Sze，S.M.）主编；史常忻译
出版社：	上海交通大学出版社
丛编项：
标　签：	超大规模集成电路工艺学

ISBN：	9787313000460	出版时间：	1987-10-01	包装：
开本：	26cm	页数：	456页	字数：

内容简介

　　本书讨论了硅集成电路的工艺原理，包括晶体生长和片子制备，外延介质和多晶硅淀积等。

作者简介

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