本书讨论以半导体激光器为光源的干涉理论及在几何量测量中的应用技术,全书共八章。以半导体激光器体积小,重量轻、输出光可调谐、易集成等优点为基础所形成的半导体激光干涉技术,为实现许多物理量的高精度、非接触、在线测量提供可能。本书作为半导体激光干涉理论及其应用技术的系统总结,详细介绍有关的理论基础、可能出现问题的具体解决方法,详细讨论了利用各种输出光调谐方式进行几何量干涉测量的理论及技术。本书所讨论的内容基本上反映了近年来该领域的主要成就,涉及到了几何量测量的大部分内容,有广泛的适用性,可以作为从事精密仪器、光学仪器以及其他仪器仪表研究、应用的专业技术人员的参考书,对从事机械制造、航天航空、电子工业等领域的有关人员也一定会有较大的帮助。