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超大规模集成电路技术基础

超大规模集成电路技术基础

定　价：¥35.00

作　者： 李兴主编
出版社： 电子工业出版社
丛编项：
标　签： 超大规模集成电路

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ISBN： 9787505351950 出版时间： 1999-05-01 包装：
开本： 26cm 页数： 255页 字数：  

内容简介

暂缺《超大规模集成电路技术基础》简介

作者简介

暂缺《超大规模集成电路技术基础》作者简介

图书目录

绪论
第一章 硅的晶体结构
第二章 光刻
第三章 掺杂
第四章 氧化及热处理
第五章 薄膜工艺基础与物理气相沉积
第六章 化学汽相沉积（VCD）
第七章 刻蚀
第八章 平坦化及多重内连线工艺
第九章 超大规模集成电路工艺汇总

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