可靠性物理

绪论0.1 信息时代与电子元器件
0.2 电子元器件的质量和可靠性第1章 电子元器件的理论基础1.1 固体及半导体导电理论简介
1.2 基础元件
1.3 pn结
1.4 晶体三极管
1.5 半导体表面概论
1.6 MOS场效应晶体管（MOSFET）
1.7 半导体的光-电子学效应
1.8 真空电子器件基础
1.9 相图
1.10 金属膜及金属化层
习题与思考题第2章 电子元器件的技术基础2.1 平面工艺与集成电路
2.2 氧化工艺
2.3 刻蚀技术
2.4 扩散法掺杂技术
2.5 离子注入掺杂技术
2.6 晶体外延生长技术
2.7 表面薄膜气相淀积技术
2.8 清洁处理
2.9 双极集成电路制造工艺
2.10 CMOS集成电路制造工艺
2.11 低压气体放电和等离子体
2.12 腐蚀
习题与思考题第3章 电子元器件失效的物理模型3.1 失效与环境应力
3.2 失效物理模型
3.3 失效模式与失效机理
习题与思考题第4章 失效分析和破坏性物理分析4.1 电子元器件失效分析的目的及作用
4.2 失效分析工作的流程和通用原则
4.3 失效分析报告
4.4 失效机理的验证试验和失效模式的统计评估
4.5 电子元器件失效分析的程序
4.6 破坏性物理分析
习题与思考题第5章 电子元器件失效分析方法5.1 电子元器件失效分析的常用程序及方法
5.2 失效分析中几种常用方法介绍
5.3 从失效器件的电学特性分析失效
5.4 电子元器件失效分析技术
5.5 电子元器件失效分析常用设备
习题与思考题第6章 微分析技术6.1 引言
6.2 电子显微镜和X射线谱仪
6.3 俄歇电子能谱（AES）
6.4 二次离子质谱（SIMS）
6.5 光电子能谱
6.6 卢瑟夫背散射频谱学（RBS）
6.7 其他微分析技术
6.8 检测缺陷的IDDQ测试技术
习题与思考题第7章 在管理工作中的失效分析和失效分析事例7.1 电子元器件失效分析事例
7.2 失效分析在工程管理中的应用
习题与思考题第8章 电子元器件的电极系统及封装的失效机理8.1 金属膜和金属化层的失效机理
8.2 金属的电迁移
8.3 引线键合的失效机理
8.4 电子元器件电极系统焊（压）接的失效
8.5 芯片贴装失效机理
8.6 电子元器件封装的可靠性
8.7 电极系统和封装的腐蚀
8.8 电子元器件的热应力失效
8.9 提高电极系统和封装可靠性的基本保证
习题与思考题第9章 半导体和微电子器件的失效和可靠性9.1 微电子器件的失效模式和失效机理
9.2 微电子器件的表面失效模式与失效机理
9.3 VLSI中金属—半导体接触系统的可靠性
9.4 微电子器件的体内失效模式和失效机理
9.5 微电子电路超薄栅介质的可靠性
9.6 过电应力失效
9.7 闩锁效应
9.8 动态存储器中的软误差
9.9 超大规模集成电路的主要失效机理和分析技术
习题与思考题第10章 阻容元件的失效模式和失效机理10.1 电阻器的失效模式与失效机理
10.2 电位器的失效模式与失效机理
10.3 电容器的失效模式与失效机理
10.4 厚膜元件及互连线的失效模式与失效机理
习题与思考题第11章 继电器和连接器的失效机理分析11.1 接触元件的可靠性物理
11.2 继电器、连接器和开关的失效模式与失效机理
11.3 继电器与连接器的失效分析
习题与思考题第12章 光电子元器件的可靠性12.1 激光器的可靠性
12.2 高功率绿光固体激光器的寿命分析
12.3 红外探测器
12.4 光纤传输系统
12.5 光电二极管的失效模式和失效机理
12.6 光缆的失效模式和失效机理
习题与思考题第13章 真空电子器件的可靠性13.1 真空电子器件的特点和重要性
13.2 微波管的主要参量
13.3 行波管的失效模式和失效机理
13.4 真空电子器件阴极的可靠性
习题与思考题第14章 电子元器件的静电放电损伤14.1 静电的产生与来源
14.2 静电放电模型
14.3 静电放电灵敏度的测量
14.4 静电放电失效模式和失效机理
14.5 对ESD敏感元器件的失效机理和失效模式
14.6 防静电放电失效的防护网络设计
14.7 静电放电失效的防护措施
习题与思考题第15章 电子元器件的辐射效应15.1 辐射环境
15.2 辐射与物质的相互作用
15.3 辐射对电子元器件性能的影响
15.4 核辐射对微电子电路的影响
15.5 电子元器件抗辐射加固技术
15.6 核辐射有关专业名词及技术用语
习题与思考题附录A 部分微分析法一览表附录B 两种表面分析方法的性能比较附录C 各种表面分析方法的性能比较参考文献