第1部分 微电子传感器基础及应用
第1章 绪言
第2章 电子材料及其加工处理
第3章 MEMS用材料及其制备
第4章 标准微电子工艺
第5章 硅体的微机械加工
第6章 硅的表面微机机械加工
第7章 MEMS的微立体平版光刻技术
第8章 微传感器
第9章 微机械加速度计和陀螺仪
第10章 声表面波微传感器
第11章 智能传感器、微执行器和MEMS
第2部分 传感器、送变器和执行器
第1篇 敏感元器件与传感器
第1章 角速度、角度和角加速度陀螺
第2章 编码器
第4章 倾角传感器
第5章 线性加速度传感器
第6章 振动加速度和速度传感器
第7章 线性位移传感器
第8章 厚度、距离、长度和高度传感器
第9章 孔径、圆度和对中仪
第10章 液位和物位传感器
第11章 流量计
第12章 荷重传感器
第13章 力敏传感器
第14章 光纤传感器
第15章 功率计与光度计
第16章 红外测温仪与热像仪
第17章 温度传感器与热敏器件
第18章 磁敏传感器
第19章 电流传感器与电导仪
第20章 气敏传感器
第21章 湿敏（水份）传感器与露点仪
第22章 离子敏传感器
第23章 声敏传感器
第24章 硬度、密度、浊度、表面粗糙度、粉尘度及其他物理传感器
第25章 多功能传感器
第26章 风速计
第27章 电量隔离、扭矩及其他传感器
第28章 传感器试验用设备仪备
第2篇 变送器
第29章 物位、液位和流量变送量
第30章 压力、差压变送器
第31章 温度、湿度及其他变速器
第3篇 执行器
第32章 执行器与执行机构
第33章 阀
第34章 泵
第35章 接近开关
第36章 调节器与连接器
第37章 控制器
第38章 报警器
第3部分 传感器与执行器技术支持
一、中国
二、美国
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