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集成电路掩膜技术

集成电路掩膜技术

定　价：¥3.50

作　者：	埃利奥特著（Elliott，D.J.）；宋柏泉等译
出版社：	上海交通大学出版社
丛编项：
标　签：	集成电路工艺

ISBN：	9787313009654	出版时间：	1989-01-01	包装：
开本：	21cm	页数：	240页	字数：

内容简介

　　本书阐述了制备集成电路掩膜的全过程，包括掩膜版玻璃基板制备、图形设计和数据生产、涂敷、刻蚀成像、图形测量、质量控制、生产技术等。

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