等离子体诊断（第一卷放电参量和化学）

定　价：¥25.00

作　者：	（美）奥切洛（Auciello，Orlando），（美）弗拉姆（Flamm，Daniel L.）编著；郑少白等译
出版社：	电子工业出版社
丛编项：	等离子体-材料相互作用系列丛书
标　签：	等离子体诊断

ISBN：	9787505321748	出版时间：	1994-03-01	包装：
开本：	21cm	页数：	468页	字数：

　　本卷着重于等离子体工艺中的各种诊断技术介绍，包括：放电光源中的等离子诊断、等离子体质谱学、微波诊断等7章。

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