真空设计手册

目录
第一章　真空基础
一、真空概念和测量单位
（一）真空概念
（二）真空度及测量单位
二、真空区域划分
三、大气
四、真空技术术语（GB／T3163—93）
五、真空技术系统图用图形符号
（GB／T3164-93）
（一）真空泵
（二）真空阀门
（三）挡板
（四）阱
（五）除尘、过滤器
（六）真空管路及其连接
（七）压力测量仪表
（八）真空容器
（九）符号应用示例
六、理想气体的基本定律及状态方程
（一）理想气体
（二）气体分子运动论的基本假设
（三）理想气体的基本定律及状态方程
（四）蒸气
七、理想气体的压力、质量和密度
（一）理想气体的压力
（二）理想气体的质量
（三）理想气体的密度
八、气体分子热运动速度
（一）麦克斯韦速度分布定律
（二）最可几速度υm
（三）算术平均速度υ
（四）均方根速度υs
（五）气体中的声速
九、气体分子碰撞次数
（一）气体分子间的碰撞
（二）气体分子与容器壁碰撞
（三）蒸发、凝结与饱和蒸气压
十、气体分子的平均自由程
（一）单一气体分子的平均自由程
（二）两种气体混合时的平均自由程
（三）多种气体混合时的平均自由程
（四）在气体中运动的电子的平均自由程
（五）在气体中运动的离子的平均自由程
（六）平均自由程与温度的关系
（七）分子自由程的分布规律
十一、常压下气体的迁移过程
（一）平衡态与非平衡态及非平衡态下的输运过程
（二）迁移方程
（三）气体的内摩擦（粘滞性）
（四）气体的热传导
（五）气体的扩散
十二、中、低压下气体的迁移过程
（一）中压下的滑动现象
（二）低压下气体的外摩擦（自由分子的粘滞性）
（三）低压下的热流逸现象
（四）中压下的温度剧增（温度跃变）现象
（五）低压下气体的自由分子热传导
十三、吸附
（一）固体与气体的相互作用
（二）吸附的基本概念
（三）吸附的平衡状态——吸附等温线
（四）吸附的非平衡状态——吸附和解吸速率
十四、低压下的气体放电现象
（一）气体的电离
（二）气体放电
（三）辉光放电
（四）弧光放电
（五）火花放电
（六）电晕放电
（七）高频放电
（八）潘宁放电
第二章管道流导计算
一、气体流量、流阻、流导的基本
公式
二、流量单位
三、应用列线图和曲线计算管道串联时的流导和泵的有效抽速
四、气体沿管道的流动状态
（一）湍流
（二）粘滞流
（三）分子流
（四）粘滞一分子流
（五）湍流与粘滞流的判别
（六）粘滞流、粘滞一分子流和分子流的判别
五、粘滞流时孔的流导
六、分子流时孔的流导
（一）圆孔
（二）矩形薄壁窄缝
（三）管道中隔板上的小孔
（四）缩孔
七、粘滞流时管道的流导
（一）圆截面长管
（二）矩形及正方形圆截面短管
（三）截面管道
（四）环形截面管道
（五）偏心圆环
（六）椭圆形截面管道
（七）径向辐射流结构流导
（八）各种气体的流导关系
八、分子流时管道的流导
（一）圆截面长管
（二）圆截面短管
（三）环形截面管道
（四）椭圆形截面管道
（五）锥形管道
（六）扁缝形管道
（七）矩形管道
（八）等边三角形截面管道
（九）变截面及匀截面管道
（十）弯管
（十一）径向辐射流结构的流导
（十二）各种气体的管道流导关系
九、分子流、粘滞流时对20℃空气，孔和管道的流导汇总表
十、粘滞一分子流时管道的流导
（一）圆截面管道
（二）矩形截面管道
十一、以克劳辛系数计算管道流导
十二、挡板的流导一
十三、用传输概率计算流导
十四、分子流下复杂管路的流导和传输概率
（一）两截面相同的管道串联
（二）两截面相同的管道中间连接一个大容器
（三）管道与小孔组合后的传输概率
（四）两管道中间有小孔时管路传输概率
（五）两个截面不同的管道串联后的传输概率
第三章　机械真空泵
一、真空泵型号编制方法
（一）真空泵型号组成
（二）真空泵型号示例
二、往复式真空泵
（一）概述
（二）结构原理
（三）型式与基本参数（摘自JB／T7675—95）
（四）国产往复真空泵的技术性能、外形及安装尺寸
（五）WL系列立式节能往复真空泵
三、液环式真空泵
（一）概述
（二）工作原理
（三）型式与基本参数（摘自JB／T7255—94）
（四）国产水环式真空泵的技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸
四、水环一大气喷射真空泵组
（一）概述
（二）工作原理
（三）国产水环一大气喷射真空泵组技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸
五、油封式旋转机械真空泵
（一）概述
（二）工作原理
（三）油封式旋转机械真空泵行业标准
（四）国产2X型旋片式真空泵的技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸
（五）国产XD、X系列单级旋片式真空泵技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸
（六）国产直联旋片式真空泵的技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸
（七）国产2H型滑阀式真空泵技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸
六、罗茨式真空泵
（一）概述
（二）工作原理
（三）ZJ型罗茨真空泵的型式和基本参数（摘自JB／T7674—95）
（四）国产罗茨泵技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸
七、涡轮分子泵
（一）概述
（二）涡轮分子泵结构原理
（三）立式涡轮分子泵行业标准（摘自JB／T 9125—99）
（四）国产F型立式涡轮分子泵技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸
八、干式真空泵
（一）概述
（二）干式旋片真空泵
（三）爪式真空泵
（四）涡旋式真空泵
（五）螺杆式真空泵
九、机械真空泵性能测试标准
（一）容积真空泵性能测试方法（摘自JB／T7266—94）
（二）容积真空泵噪声测量方法（摘自JB／T 8106—99）
（三）旋片式真空泵性能测试方法（摘自JB／T 6533—97）
（四）滑阀式真空泵性能测试方法（摘自JB／T 1246—97）
（五）涡轮分子泵性能测试方法（摘自GB7774—87）
（六）罗茨真空泵性能测试方法（摘自JB／T 7674—95）
（七）往复真空泵性能测试方法（摘自JB／T 7675-95）
第四章　蒸气流真空泵
一、概述
二、水蒸气喷射真空泵
（一）应用范围
（二）结构简述
（三）工作原理
（四）水蒸气喷射泵真空的几个重要参数
（五）水蒸气喷射真空泵设计要点
（六）水蒸气喷射真空泵型式及基本参数（摘自JB／T8540-97）
（七）国产水蒸气喷射真空泵技术性能
三、油扩散喷射真空泵
（一）概述
（二）结构原理
（三）油扩散喷射真空泵的抽气特性
（四）油扩散喷射真空泵的设计计算
（五）国产Z型系列油扩散喷射真空泵主要技术性能、特性曲线及外形尺寸
四、油扩散真空泵
（一）概述
（二）结构原理
（三）影响油扩散泵性能的因素
（四）提高油扩散泵极限真空的方法
（五）用油扩散泵获得超高真空的方法
（六）金属油扩散泵的设计
（七）蒸气流真空泵行业标准（摘自JB／T 7265-2004）
（八）国产K、KT型系列高真空油扩散泵主要技术性能、特性曲线及外形连接尺寸
（九）蒸气流真空泵性能测试方法（摘自JB／T8272.1-96）
第五章　气体捕集真空泵
一、钛泵
（一）概述
（二）升华钛泵和蒸发钛泵
（三）弹道式钛泵
（四）溅射离子泵
二、低温泵
（一）概述
（二）低温泵的分类
（三）低温泵的抽速
（四）低温泵的极限压力
（五）低温泵的热负荷
（六）低温泵的启动时间
（七）低温泵的工作时间
（八）深冷霜吸气现象
（九）小型制冷机低温泵
三、低温容器
（一）概述
（二）低温容器的热流量计算
（三）液氮生物容器（摘自GB 5458—85）
（四）自增压式液氮容器（摘自ZBB 42004—87）
（五）国产低温容器的技术性能
四、分子筛吸附泵
（一）概述
（二）分子筛吸附泵的结构
（三）分子筛吸附泵的计算
（四）影响分子筛吸附泵性能的因素
（五）分子筛在温度20K以下工作时的吸附性能
（六）分子筛用作干燥剂的性能
（七）国产分子筛吸附泵主要技术参数
五、锆铝吸气泵
（一）概述
（二）锆铝吸气剂泵结构及抽气原理
（三）锆铝吸气带的工作特性
（四）锆铝吸气泵性能参数的选择
第六章　真空密封
第七章　真空元件
第八章　真空室设计
第九章　真空系统设计
第十章　真空装置
第十一章　真空度测量与真空规
第十二章　真空系统的气体分析与分压测量
第十三章　真空检漏技术和仪器
第十四章　真空技术常用材料
第十五章　真空技术常用工艺
第十六章　极高真空技术及其应用
附录
参考文献