微机械与微细加工技术

绪论
第一章 微机械理论基础
1.1 微机械学
1.2 微动力学
1.3 微电子学
1.4 微光学
1.5 微流体力学
1.6 微热力学
1.7 微摩擦学
1.8 纳米生物学
1.9 分子装配技术
第二章 微机械材料与微结构
2.1 引言
2.2 微机械材料
2.2.1 硅材料
2.2.2 形状记忆材料
2.2.3 压电陶瓷／电致伸缩材料
2.2.4 超磁致伸缩材料
2.2.5 电流变体
2.2.6 磁流变体
2.2.7 有机聚合物材料
2.3 微结构与微型智能结构
2.3.1 主动控制结构类
2.3.2 被动阻尼结构类
第三章 微细加工技术
3.1 引言
3.2 硅微细加工技术
3.2.1 薄膜制备技术
3.2.2 微机械器件薄膜制备技术
3.3 光刻技术
3.3.1 光刻掩模制作工艺
3.3.2 曝光技术
3.3.3 刻蚀技术
3.3.4 表面薄膜的化学刻蚀加工
3.4 牺牲层技术
3.5 外延技术
3.6 高能束刻蚀技术
3.6.1 离子束刻蚀
3.6.2 等离子体刻蚀
3.6.3 激光刻蚀
3.7 LIGA技术
3.8 微细立体光刻技术
3.9 精密放电加工技术与超精密机械加工技术
3.10 微机械装配与集成
3.10.1 堆装技术
3.10.2 封装技术
3.10.3 集成制造技术
第四章 准分子激光微细加工技术
第五章 微检测技术
第六章 微传感器
第七章 微致动器及其它微器件
第八章 典型微型电子机械系统与微机器人