微细加工技术

第1章　微型机械与微细加工概论/1
1.1　微机械及其特点/1
1.2　微细加工技术的概念及其特点/4
1.3　微细加工技术的分类/6
1.4　微细加工技术的应用/9
1.5　发展微细加工技术的意义/15
参考文献/17
第2章　微机械与微细加工理论基础/18
2.1　微机械学/18
2.2　微电子学/33
2.3　微光学/37
2.4　分子装配技术/39
2.5　微细加工机理/41
参考文献/4l
第3章　微细切削加工技术/44
3.1　微切削加工机理与物理特性/44
3.2　微细车削加工技术/50
3.3　微细铣削加工技术/58
3.4　微细钻削加工技术/65
3.5　微细冲压加工/69
3.6　微细磨料喷射加工/7l
3.7　微细切削加工工作环境/74
参考文献/75
第4章　微细电加工技术/77
4.1　微细电加工技术概述/77
4.2　微细电火花加工的特点与实现条件/79
4.3　微细电极的在线制作与检测/83
4.4　微细电火花加工中的脉冲电源与控制系统/90
4.5　微细电火花加工装备/95
4.6　微细电火花铣削加工技术/100
4.7　微细电火花线切割加工技术/108
4.8　微细电化学加工技术/111
参考文献/117
第5章　高能束流微细特种加工技术/118
5.1　电子束微细加工技术/118
5.2　离子束微细加工技术/126
5.3　激光微细加工技术/136
参考文献/150
第6章　半导体材料的微细加工技术/152
6.1　集成电路的工艺基础一一平面硅工艺/152
6.2　薄膜成形技术/154
6.3　掺杂技术/159
6.4　光刻技术/161
6.5　硅的体微加工技术/163
6.6　硅的表面微加工技术/171
6.7　键合技术/173
6.8　非硅半导体的腐蚀技术/175
参考文献/176
第7章　纳米加工技术/178
7.1　纳米加工技术的特点/178
7.2　扫描探针显微镜及其在纳米加工中的应用/180
7.3　微制造中的LIGA技术/188
参考文献/197
第8章　生长型微细加工技术/199
8.1　化学气相沉积（CVD）技术/199
8.2　物理气相沉积（PVD）技术/204
8.3　离子束辅助镀膜（IAC）技术/205
8.4　高速燃气喷涂技术/207
8.5　化学镀非晶态合金技术/209
8.6　电火花沉积陶瓷层技术/212
8.7　微弧氧化技术/214
8.8　三维微结构的沉积加工技术/215
8.9　分子自组装技术简介/220
参考文献/x1
第9章　典型零部件的微细加工/222
9.1　微构件及其微细加工技术/222
9.2　微传感器及其微细加工技术/232
9.3　微涡轮机/234
9.4　微型泵/234
9.5　微机器人/235
参考文献/236