微细加工技术

定　价：¥35.00

作　者：	刘明等编
出版社：	化学工业出版社
丛编项：	现代加工技术丛书
标　签：	仪表工业

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ISBN：	9787502560775	出版时间：	2004-10-01	包装：	平装
开本：	16开	页数：	267	字数：

内容简介

　　《微细加工技术》是《现代加工技术丛书》之一。《微细加工技术》从微细加工技术的基础知识讲起，较为详细地介绍了光学曝光技术、光学分辨率增强技术、电子束光刻技术、X射线光刻技术、极端远紫外光刻技术、刻蚀技术以及其他纳米加工技术。《微细加工技术》较为全面地反映了我国微细加工技术的现状，并在此基础上介绍了国际微细加工的先进技术及其发展趋势，是从事微细加工技术的科研人员、本科生、研究生以及对微电子感兴趣的人员的参考书。