本书汇集了王阳元院士在1998年到2004年期间发表的重要论文和论述,内容涉及微电子学科的发展战略研究、发展前沿综述、学术论文、科学研究方法论、产业建设和人才培养等多个方面。在此期间里,他与合作者以及研究生共同发表了70余篇学术论文。本书从中精选了发表在国内外重要学术刊物上的有关SOI/CMOS器件与电路、超深亚微米器件研究、MEMS研究和电路研究等方面的36篇有代表性的学术论文。这些论文和论述在国内外微电子领域的学术界、教育界和工业界产生了深刻影响,推动了我国微电子科学技术和产业的发展,反映了王阳元院士作为一位“仁智双馨”的战略科学家的风貌。本书可作为高等学校信息技术及微电子专业师生的参考书,也可供相关领域的技术人员、科研人员及科技管理人员学习参考。