微惯性元件是微惯性系统的核心部件;微陀螺仪作业敏感元件,主要基于哥氏效应的哥氏力为载体提供准确的方位、角速度和角位移等信号,完成对运动体的姿态控制;微加速度计的理论基础主要是牛顿惯性定律。本书介绍了硅微惯性技术的基础知识;硅微机械惯性仪表的原理、设计及组合技术:硅微惯性器件与系统的测试、标定及评价技术;基于硅微惯性器件的捷联式惯性导航与组合导航技术等。本书可作为高等院校惯性技术、测控技术与仪器及其相关专业的研究生、本科生的教学参考用书,也可供从事惯性技术及传感器与执行器的有关科技人员参阅。微惯性技术是在传统惯性技术基础上,随着MEMS等技术的发展而新兴和发展起来的一项多学科交叉的前沿技术,是惯性技术的一个主要发展方向。为适应更新教学内容和满足有关科技工作人员的需要,我们编著了本教材。本书系统地介绍了硅微惯性技术,内容主要包括:硅微惯性技术的基础知识;硅微机械惯性仪表的原理、设计及组合技术:硅微惯性器件与系统的测试、标定及评价技术;基于硅微惯性器件的捷联式惯性导航与组合导航技术。本书注重理论与工程实际的结合,在介绍理论的基础上,还融入了作者及其他研究者近年来的许多实际研究成果,理论与实践并重。本书可作为高等院校惯性技术、测控技术与仪器及其相关专业的研究生、本科生的教学参考用书,也可供从事惯性技术及传感器与执行器的有关科技人员参阅。