静电放电及危害防护

1 绪 论
1. 1 历史的回顾与静电学的新生
1. 2 静电防护与电磁兼容性
2 静电学基础理论
2. 1 电荷与库仑定律
2. 1. 1 电荷和电量
2. 1. 2 电荷守恒定律与物体的带电
2. 1. 3 电荷的量子性
2. 1. 4 库仑定律
2. 2 电场与高斯定理
2. 2. 1 电场
2. 2. 2 电场强度
2. 2. 3 场强叠加原理
2. 2. 4 高斯定理
2. 2. 5 静电场的散度
2. 3 静电场的环流定理
2. 3. 1 静电场的环流定理
2. 3. 2 静电场的旋度
2. 3. 3 电场力的功
2. 3. 4 电压
2. 3. 5 电位
2. 3. 6 电位分布计算
2. 3. 7 电场强度与电位的关系
2. 4 静电场中的导体
2. 4. 1 导体的静电平衡
2. 4. 2 静电感应
2. 4. 3 静电屏蔽
2. 4. 4 在静电领域材料的分类
2. 5 静电场中的电介质
2. 5. 1 电介质的极化
2. 5. 2 电极化强度
2. 5. 3 束缚电荷
2. 5. 4 电位移矢量
2. 5. 5 静电场的边界条件
2. 6 电容和部分电容
2. 6. 1 电容和电容器
2. 6. 2 部分电容
2. 7 静电场的能量
2. 7. 1 点电荷系统的静电场能量
2. 7. 2 电荷连续分布时的静电场的能量
2. 7. 3 n个导体组成的带电系统的静电场能量
2. 7. 4 电容器的储能
2. 7. 5 静电场能量的场量表示
3 静电起电与消散
3. 1 静电起电原理
3. 1. 1 金属间的接触起电理论
3. 1. 2 金属与绝缘材料的接触起电
3. 1. 3 绝缘材料之间的接触起电
3. 1. 4 分离过程
3. 1. 5 摩擦在接触起电过程中的作用
3. 2 固体起电
3. 2. 1 剥离起电
3. 2. 2 破裂起电
3. 2. 3 电解起电
3. 2. 4 压电起电
3. 2. 5 热电起电
3. 2. 6 感应起电
3. 2. 7 吸附起电
3. 2. 8 喷电起电
3. 2. 9 影响固体静电起电的因素
3. 3 粉体的静电起电
3. 3. 1 粉体特性及其起电机理
3. 3. 2 粉体气力输送过程静电起电的主要影响因素
3. 4 液体起电
3. 4. 1 液体静电起电机理
3. 4. 2 液体的冲流起电
3. 4. 3 液体中微粒的沉降起电
3. 4. 4 液体喷射起电
3. 4. 5 液体的冲击起电
3. 4. 6 液体溅泼起电
3. 4. 7 气体-液体起电
3. 5 气体的静电起电
3. 6 人体的静电起电
3. 6. 1 人体静电起电的方式
3. 6. 2 人体静电的定义
3. 6. 3 影响人体静电积累的因素
3. 6. 4 人体静电电位的极端值
3. 6. 5 人体存储的静电能量
3. 7 静电的消散
3. 7. 1 物质对静电的泄漏性能
3. 7. 2 介质内部电荷的衰减规律
3. 7. 3 绝缘导体上电荷的消散
4 静电放电与静电危害分析
4. 1 静电放电的特点及类型
4. 1. 1 静电放电的特点
4. 1. 2 静电放电的类型
4. 2 静电效应及其作用规律
4. 2. 1 静电力学效应
4. 2. 2 静电放电的热效应
4. 2. 3 静电的强电场效应
4. 2. 4 静电放电的电磁脉冲效应
4. 2. 5 静电放电对人体的电击效应
4. 3 工业生产中的静电障害
4. 4 静电燃爆危害
4. 4. 1 静电危害实例
4. 4. 2 静电安全界限
4. 4. 3 爆炸极限
4. 4. 4 最小点火能
4. 4. 5 静电感度
4. 5 电子行业的静电危害
4. 5. 1 静电危害造成的损失
4. 5. 2 电子产品静电危害的特点
4. 5. 3 电子器件静电损伤的失效类型
4. 5. 4 造成器件静电危害的基本ESD事件
4. 5. 5 电子器件静电放电损伤失效机理
4. 6 静电电击危害
4. 6. 1 静电放电对人体电击的感知阈值
4. 6. 2 静电放电对人体电击的疼痛阈值
4. 6. 3 带电人体对接地导体放电时的生理反映
4. 6. 4 带电体是绝缘体时人体的电击界限
4. 6. 5 静电放电电击造成的恐慌
4. 7 静电危害的预测和事故分析
4. 7. 1 构成静电危害的基本条件
4. 7. 2 静电危害的预测依据和方法
4. 7. 3 静电危害的事故分析
5 静电危害防护
5. 1 防静电危害的一般原则和对策
5. 1. 1 确立静电安全防护原则的依据
5. 1. 2 静电安全防护原则
5. 2 静电接地
5. 2. 1 静电接地的定义
5. 2. 2 静电接地电阻与静电泄漏电阻
5. 2. 3 静电接地系统有关电阻的取值范围
5. 2. 4 静电接地的设施和实施方法
5. 2. 5 人体静电接地方法
5. 2. 6 典型设备的静电接地举例
5. 3 空气加湿
5. 3. 1 湿度对材料静电性能的影响
5. 3. 2 加湿方法与装置
5. 4 材料的抗静电改性
5. 4. 1 抗静电改性剂
5. 4. 2 材料的导电性填充
5. 4. 3 射束辐照抗静电改性
5. 4. 4 层压复合防静电阻隔材料
5. 5 静电消除器
5. 5. 1 无源自感应式消电器
5. 5. 2 一般高压电源式消电器
5. 5. 3 离子风高压电源式消电器
5. 5. 4 防爆型高压电源式消电器
5. 5. 5 放射源式消电器
5. 5. 6 消电器的选择与安装
5. 5. 7 消电器的残压
5. 6 人体静电的防护
5. 6. 1 防静电鞋和导电鞋
5. 6. 2 防静电 或导电 地面
5. 6. 3 防静电腕带
5. 6. 4 防静电工作服
5. 6. 5 防静电工作帽. 手套
5. 6. 6 防静电椅
5. 6. 7 防静电地垫
6 静电放电建模与模拟
6. 1 静电放电模型
6. 1. 1 人体模型
6. 1. 2 机器模型
6. 1. 3 带电器件模型
6. 1. 4 传输线脉冲模型
6. 1. 5 场感应模型
6. 1. 6 人体金属模型
6. 1. 7 ESD家具模型
6. 1. 8 其他模型
6. 1. 9 ESD模型比较与总结
6. 2 静电放电模拟器
6. 2. 1 ESD模拟器的放电方式
6. 2. 2 典型ESD模拟器的主要参数及其放电电流波形
6. 2. 3 常用ESD模拟器介绍
6. 3 静电放电辐射场的理论建模
6. 3. 1 长导体模型
6. 3. 2 球型电极模型
6. 3. 3 偶极子模型
6. 3. 4 三种模型的比较分析
6. 3. 5 改进的偶极子模型
6. 3. 6 静电放电电磁场的实验模拟
7 微电子器件静电防护和失效分析
7. 1 防护策略和基本步骤
7. 1. 1 防护策略
7. 1. 2 静电放电控制方案的基本步骤
7. 2 微电子器件. 设备ESD敏感度测试
7. 2. 1 测试部位的选择
7. 2. 2 放电方式的选择
7. 2. 3 静电放电敏感度分类
7. 2. 4 敏感元器件的静电放电敏感度试验
7. 2. 5 设备的静电放电抗扰度试验
7. 2. 6 组件的静电放电抗扰度试验
7. 3 微电子器件静电放电失效分析方法
7. 3. 1 失效分析内容和失效分析程序
7. 3. 2 失效分析技术
7. 4 潜在性失效
7. 4. 1 时间累积效应和事件累积效应
7. 4. 2 潜在性失效机理
7. 4. 3 潜在性失效的检测方法
7. 4. 4 器件潜在性失效实验分析
7. 4. 5 结论与措施
7. 5 微电子器件静电防护设计方法
7. 5. 1 概述
7. 5. 2 静电放电防护器件
7. 5. 3 ESD防护网络设计时需考虑的问题
7. 5. 4 组件设计时需考虑的问题
7. 5. 5 电子产品的ESD加固设计
7. 5. 6 ESDS器件防护网络
7. 5. 7 瞬态抑制器
7. 6 防静电工作区设计
7. 6. 1 概述
7. 6. 2 防静电工作区内的接地方法
7. 6. 3 防静电工作区内人员和移动目标的静电控制
7. 6. 4 防静电工作区内物品防静电性能指标要求
7. 7 制造集成电路净化间的静电防护
7. 7. 1 制造过程的静电防护
7. 7. 2 晶片的ESD及其防护
7. 7. 3 静电带电尘埃的影响
7. 7. 4 受静电荷影响的制造工序
7. 8 防静电包装
7. 8. 1 防护包装材料的静电性能要求
7. 8. 2 静电包装材料分类
7. 8. 3 防静电包装级别
7. 8. 4 包装防护操作的一般准则
7. 8. 5 防静电包装件运输. 存储时应注意的问题
8 静电测试技术
8. 1 概述
8. 1. 1 静电测试的目的
8. 1. 2 静电测试的特点
8. 1. 3 静电测试的主要内容
8. 2 静电基本参量测试
8. 2. 1 静电电位 电压 测试
8. 2. 2 静电电量测试
8. 2. 3 静电电容的测试
8. 2. 4 电阻与电阻率的测试
8. 3 防静电设施及器具静电性能测试
8. 3. 1 ESD防护腕带. 鞋束 足跟带 静电性能测试
8. 3. 2 ESD防护工作服静电性能测试
8. 3. 3 防静电鞋电阻测试
8. 3. 4 静电消除器消除静电能力测试
8. 3. 5 工作椅. 存放架. 运输小车对地电阻和表面电阻的测
8. 3. 6 手套. 指套对地电阻的测试
8. 3. 7 防静电工作台面静电性能测试
8. 3. 8 防静电地面对地电阻和表面电阻的测试
8. 4 防静电包装材料静电性能测试
8. 4. 1 概述
8. 4. 2 摩擦起电性能的测试
8. 4. 3 包装材料静电泄漏 衰减 性能的测试
8. 4. 4 包装材料静电屏蔽性能的测试
8. 5 人体静电参数测试
8. 5. 1 人体静电动态电位测试
8. 5. 2 人体对地静电电容的测试
8. 5. 3 人体综合电阻测试
8. 6 防静电织物静电性能测试
8. 6. 1 概述
8. 6. 2 测试样品与要求
8. 6. 3 半衰期测试方法
8. 6. 4 织物摩擦带电电位测试方法
8. 6. 5 摩擦电位衰减测试方法
8. 6. 6 电荷面密度测试方法
8. 6. 7 极间等效电阻法
8. 7 静电感度测试与数据处理方法
8. 7. 1 静电感度测试
8. 7. 2 静电感度试验数据处理方法
参考文献