集成电路生产的优化调度：理论模型、算法与系统仿真

1 绪论
1.1 调度理论的提出与发展
1.2 调度理论的研究方法
1.3 三种研究方法的比较
1.4 集成电路生产的优化调度
1.5 本章小结
2 集成电路的生产过程和特点
2.1 集成电路产业的发展
2.2 集成电路的制造工艺
2.3 硅片制造的 艺流程及制造设备
2.4 集成电路生产线的特点
2.5 本章小结
3 集成电路生产优化调度的内容和含义
3.1 投料控制
3.2 工件调度
3.3 集成电路生产线过程建模
3.4 性能分析
3.5 检测站设置
3.6 存在的问题
3.7 本章小结
4 集成电路生产优化调度的理论模型
4.1 几种典型模型概述
4.2 面向对象的混合PN模型（HOPN）
4.3 基于流平衡方程的静态模型
4.4 基于“最小时间单位”的动态模型
4.5 本章小结
5 集成电路生产优化调度的算法
5.1 集成电路生产线的性能指标分析
5.2 集成电路生产线的满意优化调度结构
5.3 自适应控制屋
5.4 优化层
5.5 高度层
5.6 本章小结
6 集成电路生产优化调度的系统仿真
6.1 集成电路生产线仿真系统的系统需求
6.2 集成电路生产线仿真系统的总体架构
6.3 仿真支撑层
6.4 集成电路生产线实体层
6.5 案例分析
6.6 基于仿真的集成电路生产线实时调度框架
6.7 本章小结
7 集成电路生产优化调度的最新研究进展
7.1 基于系统动力学的投料策略研究
7.2 基于群体智能的集成电路生产线调度研究
7.3 基于Agent的集成电路生产线集成调度研究
7.4 本章小结
8 结束语
参考文献