半导体制造系统调度

第1篇 基础篇  
第1章 概述.  
1. 1 制造系统自动化  
1. 1. 1 制造系统的演变  
1. 1. 2 制造系统的集成管理——生产管理自动化系统  
1. 2 制造系统中的计划. 调度与控制  
1. 2. 1 生产计划  
1. 2. 2 生产调度  
1. 2. 3 生产控制  
1. 3 制造系统的调度问题  
1. 3. 1 作业车间调度  
1. 3. 2 流水车间调度  
1. 4 半导体制造系统的调度问题  
第2章 半导体制造系统及其调度  
2. 1 半导体制造产业的战略意义  
2. 2 半导体制造工艺简介  
2. 2. 1 氧化  
2. 2. 2 淀积  
2. 2. 3 离子注入  
2. 2. 4 金属化  
2. 2. 5 光刻  
2. 2. 6 刻蚀  
2. 2. 7 化学机械平坦化  
2. 2. 8 清洗  
2. 2. 9 硅片测试  
2. 2. 10 装配与封装  
2. 3 半导体制造系统的高度复杂性  
2. 3. 1 工艺流程复杂  
2. 3. 2 多重人加工流程  
2. 3. 3 多种类型产品同时加工  
2. 3. 4 混合加工模式  
2. 3. 5 顺序相关的设备整定时间  
2. 3. 6 不确定性  
2. 4 半导体制造系统的性能指标  
2. 5 半导体制造系统调度  
2. 5. 1 半导体生产线调度问题的特点  
2. 5. 2 半导体制造系统调度的资源  
2. 5. 3 半导体制造系统调度的约束  
2. 5. 4 半导体制造系统调度的目标  
2. 6 半导体制造系统调度分类  
2. 6. 1 基于调度类型的半导体制造系统调度分类  
2. 6. 2 基于调度环境和任务的半导体制造系统调度分类  
第3章 半导体制造系统调度的建模方法  
3. 1 概述  
3. 2 传统建模方法  
3. 2. 1 Kelly网模型  
3. 2. 2 Markov模型  
3. 2. 3 基于流平衡方程的静态模型  
3. 3 Petri网模型  
3. 3. 1 Petri网理论基础  
3. 3. 2 面向设备群的分层Petri网模型  
3. 3. 3 Petri网建模举例  
3. 4 预测模型  
3. 5 群体智能模型  
3. 5. 1 群体智能理论  
3. 5. 2 基于群体智能的半导体制造系统调度模型  
3. 6 基于Agent的半导体制造系统集成调度模型  
第4章 半导体制造系统调度方法  
4. 1 运筹学  
4. 1. 1 数学规划  
4. 1. 2 排队论  
4. 2 启发式规则  
4. 2. 1 基于交货期的启发式规则  
4. 2. 2 基于加工周期的启发式规则  
4. 2. 3 基于工件等待时间的启发式规则  
4. 2. 4 基于负载均衡的启发式规则  
4. 2. 5 混合启发式规则  
4. 3 人工智能方法  
4. 3. 1 基于实例推理  
4. 3. 2 专家系统  
4. 3. 3 人工神经网络  
4. 3. 4 模糊逻辑  
4. 3. 5 多智能体系统  
4. 4 计算智能  
4. 4. 1 禁忌搜索算法  
4. 4. 2 模拟退火算法  
4. 4. 3 遗传算法  
4. 4. 4 人工免疫算法  
4. 5 群体智能  
4. 5. 1 蚁群优化算法  
4. 5. 2 信息素算法  
4. 5. 3 微粒群优化算法  
第2篇 方法篇  
第5章 半导体制造系统中的投料控制  
5. 1 概述  
5. 2 粗日投料策略  
5. 3 细日投料策略  
5. 3. 1 开环投料策略  
5. 3. 2 闭环投料策略  
5. 3. 3 举例  
第6章 半导体制造系统中的工件调度  
6. 1 概述  
6. 2 基于数学规划的工件调度  
6. 2. 1 基于数学规划的工件排程  
6. 2. 2 基于数学规划的工件分派  
6. 3 基于启发式规则的工件调度  
6. 3. 1 多目标优化动态分派规则  
6. 3. 2 复合优先级调度规则  
6. 4 基于人工智能的工件调度  
6. 5 基于遗传算法的工件调度  
6. 5. 1 基于混合流水车间编码方法的遗传算法的工件排程  
6. 5. 2 基于单亲遗传算法的工件排程  
第7章 半导体制造系统中的批加工设备调度  
7. 1 概述..  
7. 2 单台批加工设备调度  
7. 2. 1 基于启发式规则的单台批加工设备调度  
7. 2. 2 基于动态规划的单台批加工设备调度  
7. 3 并行批加工设备调度  
7. 4 带有批加工设备的半导体生产线动态调度  
7. 4. 1 最小加工批量规则  
7. 4. 2 批加工设备调度规则  
第8章 半导体制造系统中的设备维护调度  
8. 1 概述  
8. 2 半导体制造过程设备维护调度策略的分类  
8. 3 基于系统仿真的设备维护调度  
8. 4 基于数学规划的设备维护调度  
8. 5 基于模糊逻辑的设备维护调度  
第9章 半导体制造系统中的重调度  
9. 1 概述  
9. 2 重调度体系结构  
9. 3 重调度因素  
9. 4 重调度策略  
9. 5 重调度方法  
9. 5. 1 局部修正式重调度方法  
9. 5. 2 基于群体智能的全局修正式重调度方法  
9. 6 重调度性能评价  
第3篇 应用篇  
第10章 基于HP24模型的调度算法实现与分析  
10. 1 HP24模型介绍  
10. 1. 1 模型构成  
10. 1. 2 产品工艺流程  
10. 2 仿真模型实现  
10. 3 投料及调度算法的仿真实现  
10. 3. 1 投料算法的实现  
10. 3. 2 调度算法的实现  
10. 4 仿真运行结果分析与比较  
10. 4. 1 指标分析  
10. 4. 2 仿真结果记录  
10. 4. 3 仿真结果比较  
第11章 基于MiniFab模型的批加工设备调度算法实现与分析  
11. 1 概述  
11. 2 模型介绍  
11. 3 批加工设备调度算法仿真实现  
11. 3. 1 生产线调度对象建立  
11. 3. 2 工件加工步骤  
11. 3. 3 设备的加工方式  
11. 3. 4 设备加工时间  
11. 3. 5 设备故障间隔时间与修复时间  
11. 3. 6 批加工设备调度算法的编程实现  
11. 3. 7 仿真运行结果  
第12章 基于SIMUL8的半导体生产线调度系统设计与实现  
12. 1 半导体生产线描述  
12. 1. 1 生产线物理模型  
12. 1. 2 产品种类  
12. 1. 3 生产方式  
12. 1. 4 工艺流程与标准加工步骤  
12. 1. 5 车间层控制系统SFC_1  
12. 2 开发半导体生产线调度与仿真系统TB-PSS的总体思路  
12. 2. 1 总体目标  
12. 2. 2 调度系统功能模块简介  
12. 2. 3 调度系统架构  
12. 3 硅片加工生产线建模解决方案简介  
12. 3. 1 功能区划分  
12. 3. 2 薄膜加工区建模分析  
12. 3. 3 利用SIMUL8对薄膜加工区建模  
12. 4 TB-PSS调度算法库的解决方案  
12. 4. 1 TB-PSS调度算法库中包括的算法  
12. 4. 2 调度算法库实现的基本原理  
12. 4. 3 调度算法库实现的静态结构  
12. 4. 4 调度算法库运行时的语境对象  
12. 5 TB-PSS系统功能与业务流程  
12. 5. 1 TB-PSS功能简介  
12. 5. 2 TB-PSS业务流程  
附录  
附录A 仿真建模技术与仿真建模软件SIMUL8简介  
A. 1 离散事件系统建模及仿真技术  
A. 1. 1 科学研究中的仿真技术  
A. 1. 2 仿真方法与分析方法  
A. 1. 3 仿真建模与仿真建模软件  
A. 2 仿真软件SIMUL8  
A. 2. 1 SIMUL8仿真原理  
A. 2. 2 SIMUL8界面和基本功能  
A. 2. 3 SIMUL8建模的基本构造对象单元  
A. 2. 4 SIMUL8的建模方法  
A. 2. 5 SIMUL8的编程语言Visual Logic  
A. 2. 6 运用SIMUL8建模仿真的技巧集  
附录B 专业词语汇总表...