半导体测试技术原理与应用

1　半导体微区电阻测量技术
　1.1　微区电阻测试相关因素分析
　1.2　国内外薄层电阻测试方法综述
　1.3　图像处理与分析及共在半导体薄层电阻测量中的应用
　参考文献
2　四探针技术测量薄层电阻的原理分析
　2.1　国探针测试技术概述
　2.2　常规直线四探针法
　2.3　改进的范德堡法
　2.4　斜置式方形Rymaszewski四探针法
　2.5　小结
　参考文献
3　四探针测试技术中的共性问题
　3.1　测试探针
　3.2　测试设备的校准及环境对测量的影响
　3.3　四探针测试中的边缘修正问题
　3.4　小结
　参考文献
4　四探针仪测控系统及其实现
　4.1　机械系统设计
　4.2　四探针仪测试系统设计
　4.3　光学监视系统
　4.4　小结
　参考文献
5　游移对测试结果的影响及测量薄层电阻的改进Rymaszewski方法
　5.1　方形四探针测试中探针游针对测试结果造成的误差分析
　5.2　方形国探针法与常规直线四探针法游移造成误差的对比分析
　5.3　用改进的Rymaszewski公式及方形四探针法测定微区的方电阻
　5.4　小结
　参考文献
6　探针图像预处理及边缘检测
7　探针的图像侵害、定位控制与检测精度分析
8　电阻率的无接触测量及自动测试技术
9　高电阻率材料的电学参数测量
10　扫描电子显微镜及其在半导体测试技术中的应用
11　外延片的物理测试