金属有机化合物气相外延基础及应用

前言
第1章绪论
1.1 外延生长
1.2 MOVPE概述
参考文献
第2章 MOVPE生长系统
2.1 MOVPE气体输运分系统
2.2 MOVPE生长反应室分系统
2.3 MOVPE尾气处理分系统
2.4 MOVPE生长控制装置分系统
2.5 MOVPE外延层生长的原位监测
参考文献
第3章 原材料
3.1 金属有机化合物源
3.2 氢化物源
参考文献
第4章 MOVPE的热力学分析
4.1 外延生长速度的限制机构
4.2 MOVPE生长的固溶体固相成分与气相成分关系
4.3 MOVPE生长相图与单凝聚相生长区
4.4 掺杂
参考文献
第5章 MOVPE化学反应动力学和质量输运
5.1 MOVPE化学反应动力学
5.2 MOVPE反应室内的输运现象与模型化
5.3 MOVPE化学反应一输运模型的应用
参考文献
第6章 MOVPE的表面过程
6.1 表面成核
6.2 外延生长模式
6.3 MOVPE环境下的表面再构
6.4 表面活性剂
参考文献
第7章 Ⅲ-Ⅴ族半导体材料的MOVPE生长
7.1 GaAs及其固溶体的MOVPE生长
7.2 InP、GaP及其有关化合物的MOVPE生长
7.3 锑化物的MOVPE生长
7.4 氮化物的MOVPE生长
7.5 选择外延生长和非平面衬底上的外延生长
7.6 Si、Ge上Ⅲ-Ⅴ族半导体的MOVPE生长
参考文献
第8章 Ⅱ-Ⅵ族半导体材料的MOVPE生长
8.1 ZnSe及其有关化合物的MOVPE生长
8.2 ZnO及其固溶体的MOVPE生长
8.3 HgCdTe的MOVPE生长
参考文献
第9章 低维半导体材料的MOVPE生长
9.1 量子阱结构的MOVPE生长
9.2 量子点和量子线结构的生长
参考文献
第10章 MOVPE技术在半导体器件方面的应用
10.1 发光二极管
10.2 激光器
10.3 太阳能电池
10.4 半导体光探测器
10.5 高电子迁移率场效应晶体管
10.6 异质结双极晶体管
10.7 光电集成电路
参考文献
后记