第1章幸福生活从美丽与微观开始
001展现缤纷色彩的颜料用微小粉末描绘美丽世界002
002复制美丽——相片彩色相片与数码相机004
003薄膜技术使机器人不断进化利用薄膜材料与计算机
进行精密制备006
004创造五种感官视觉、听觉、嗅觉、味觉与触觉的创造008
005制造人工智能010
006我们身边的电子产品都在使用薄膜012
007利用不分解的压延技术,可以薄到什么程度014
008制造薄膜与制作精细图案016
COLUMN真空的含义018
第2章制备薄膜的重要环境条件——真空
009真空——压强低于大气压的空间状态020
010真空的单位与压强的单位：帕斯卡(Pa)022
011抽出和吸附——真空泵的分类024
012真空的分析和测量真空计026
013真空装置的制造方法028
COLUMN质量瞬移030
第3章薄膜的制备
014薄膜的形成——先气化,再固化沉积032
015四种气化源034
016单层生长与形核长大薄膜的生长①036
017薄膜内部缺陷薄膜的生长②038
018仅有薄膜还不够薄膜与基板的结合040
019目标：单晶薄膜042
COLUMN出身和教育同样重要044viv
第4章薄膜特有的性质
020薄膜的密度和厚度会随时间减小046
021薄膜电阻的变化比体材料大048
022热稳定性降低通过时效处理加以克服05
COLUMN薄膜和基板的连接052
第5章增强基板与薄膜结合的技术
023制膜的基础：平整的基板054
024前期处理：使基板表面完全裸露056
025前期处理的最后工序：干燥058
026制备附着强度更强的薄膜060
027改变气化源、增加附着强度062
028薄膜与基板的相合性更为重要064
029着陆点：险峻的山地066
030得到希望的薄膜组成068
031制造用于大面积集成电路的非晶薄膜070
032电迁移断线及其解决方法072
COLUMN太阳之子——等离子体074
第6章等离子体在薄膜制备中的重要性
033等离子体的神奇之处及其应用076
034通过放电获得等离子体078
035低气压(良好真空)下的磁控放电080
036产生薄膜用等离子体的五种方法082
037薄膜制备的难题——尘埃084
COLUMN望远镜和照相机视场变亮的奥秘086
第7章从古代沿用至今的蒸镀法
038蒸发源088
039加工等厚膜的方法090
040离子镀的使用092
041进一步发挥离子的作用094
042防止蒸镀材料与薄膜间的成分变化激光沉积法096
043制作透明导电的薄膜透明导电薄膜的蒸镀方法098
COLUMN活学活用100
第8章大面积气化源、适于批量生产的溅射法
044溅射率是由离子能量和薄膜材料的种类决定的102
045溅射产生的原子遵循余弦法则且速度非常快104
046溅射的主要方式106
047以低电压、定压(高真空)为目标的磁控溅射108
048支撑半导体IC高集成度发展的铝合金溅射110
049利用反应溅射制作高性能电阻膜112
050用溅射法制作氧化物高温超导膜114
051低电压下制造透明导电膜(氧化物)ITO116
052薄膜加工的过渡——从平面成膜到微孔成膜118
053利用离子进行超微细孔的填埋120
054向高真空、无氩气溅射的过渡122
COLUMN神奇的过程——从气体到薄膜124
第9章由气体制作薄膜的气相沉积法
055气体向固体的转变：薄膜的气相沉积126
056很多的CVD方法已被实用化128
057CVD法制备IC中至关重要的硅系薄膜130
058高清彩色电视用的硅薄膜132
059高诱电率薄膜和低诱电率薄膜的制作134
060用气相沉积法制备金属导体薄膜136
061表面改性法制备氧化薄膜、氮化薄膜138
COLUMN从水(液体)中提取薄膜(固体)140
第10章在液体中制作镀膜
062镀膜技术的发展142
063液相镀膜和真空薄膜中的核生长144
064精密镀膜在电气领域的应用146
COLUMN用世界上最小的刀进行切削加工148vii
第11章将薄膜加工成电路、晶体管等的蚀刻技术
065蚀刻法制备图样：在正确的位置加工正确的形状150
066用气体离子进行蚀刻152
067最关键的一步——等离子体的制备154
068反应气体是重要的156
069决定蚀刻的条件158
070利用极细离子束进行故障修理160
071利用CMP进行平坦化处理162
072无CMP的平坦化技术164
COLUMN向伟大的梦想前进！166
第12章薄膜发展的无限可能性
073操控原子，制造未来仪器168
074薄膜——带动世界通信网络发展170
075用微动同步器挽救生命172
076生物计算机的使用174参考文献177
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