本书系统阐述了磁敏感元器件和磁传感器、压电式传感器、压阻式传感器等物理传感器结构、工作原理和特性,介绍了硅各向异性腐蚀技术、传感器集成化及传感器CAD等传感器技术。本书具有较系统的基础理论和实用技术,概念清楚。全书共15章,主要内容包括绪论、磁传感器概述、霍尔元件、磁敏电阻、磁敏二极管、磁敏三极管、其他磁传感器、压电效应与压阻效应、弹性元件的力学分析、压电式传感器、压阻式传感器、电容式传感器、硅各向异性腐蚀技术、传感器集成化及传感器CAD。书中包括采用MEMS技术制造硅磁敏三极管、硅各向异性腐蚀技术和MOSFETs压磁传感器集成化等内容,是作者在国家自然科学基金和黑龙江省科技计划项目支持下取得的科研成果,对研究生和从事传感器MEMS研究开发的科技人员具有重要参考价值。本书可作为电子信息类、电气信息类、仪器仪表类等专业的本科生和研究生教材,也可供相关领域工程技术人员参考。