先进传感技术

总序
前言
第1章 传感器概论
1.1 人体感官与传感器
1.1.1 人的外化
1.1.2 人的体外进化
1.1.3 人体感官的外化与体外进化
1.1.4 师法自然与仿生传感器
1.2 传感器的分类、构成与发展动向
1.2.1 传感器的分类
1.2.2 传感器的构成
1.2.3 传感器的发展动向
参考文献
第2章 传感器材料
2.1 电学功能材料
2.1.1 导电材料
2.1.2 绝缘材料
2.1.3 半导体材料
2.2 磁学功能材料
2.2.1 磁性材料
2.2.2 有机磁体
2.2.3 磁电材料
2.3 光学功能材料
2.3.1 透光材料和导光材料
2.3.2 发光材料
2.3.3 激光材料
2.3.4 光调制用材料
2.3.5 光电材料
2.4 热功能材料
2.4.1 热电材料
2.4.2 磁热材料
2.4.3 高温材料
2.5 生物体功能材料
2.5.1 生物材料
2.5.2 仿生材料
2.6 特殊功能材料
2.6.1 复合功能材料
2.6.2 纳米材料
2.6.3 隐身材料
2.6.4 聪明材料和智能材料
参考文献
第3章 传感器工艺
3.1 去除加工
3.1.1 腐蚀工艺
3.1.2 牺牲层技术
3.2 附加加工
3.2.1 镀膜工艺
3.2.2 光刻技术
3.2.3 LIGA技术
3.3 辅助工艺
3.3.1 黏结
3.3.2 共晶键合
3.3.3 玻璃密封
3.3.4 阳极键合
3.3.5 冷焊
3.3.6 钎焊
3.3.7 硅-硅直接键合
3.3.8 微装配
3.4 封装技术
3.4.1 芯片级封装
3.4.2 圆片级封装
3.4.3 系统级封装
3.5 质量控制
3.5.1 微测试技术
3.5.2 可靠性技术
3.6 洁净室
参考文献
第4章 微传感器设计、建模与仿真
4.1 微传感器设计
4.1.1 尺度效应
4.1.2 微传感器动力学
4.2 微传感器建模
4.2.1 相似等效法
4.2.2 分析力学建模
4.2.3 耦合场建模
4.3 微传感器仿真
4.3.1 MEMSCAD软件
4.3.2 SolidWorks软件
4.3.3 Comsol，Ansys，MATLAB软件
4.3.4 Zemax，TracePro，OptisWorks软件
参考文献
第5章 硅电容式微传感器
5.1 典型传感器结构及工作原理
5.1.1 微型硅加速度计
5.1.2 硅集成压力传感器
5.1.3 CMOS集成电容湿度传感器
5.2 设计、建模与仿真
5.2.1 硅微加速度传感器设计
5.2.2 硅集成压力传感器设计
5.2.3 等效电学模型
5.3 典型接口电路
5.3.1 CAV系列接口电路
5.3.2 XE2004接口电路
5.4 检测与质量保证
5.4.1 加速度计的静态校准
5.4.2 硅压力传感器的可靠性测试
参考文献
第6章 谐振式传感器
6.1 常用的激振、拾振方法
6.1.1 静电激振与静电拾振
6.1.2 电磁激振与拾振
6.1.3 压电激振与拾振
6.1.4 电热激振与压阻拾振
6.1.5 光激振与拾振
6.2 谐振式加速度传感器
6.2.1 振梁型谐振加速度计
6.2.2 静电刚度式谐振微加速度计
6.2.3 DETF谐振式微加速度计
6.3 谐振式压力传感器
6.3.1 硅谐振式压力微传感器
6.3.2 石英谐振式压力传感器
6.3.3 振弦式称重传感器
6.4 谐振式微机械陀螺
6.4.1 工作原理及理论公式
6.4.2 理论分析
参考文献
第7章 声表面波传感器
7.1 叉指换能器
7.1.1 基本结构
7.1.2 声表面波激励
7.1.3 基本分析模型
7.2 SAW传感器的结构及等效电路
7.2.1 延迟线型结构
7.2.2 谐振器型结构
7.2.3 SAW器件等效电路
7.2.4 SAW传感器封装
7.2.5 SAW传感器测量方法
7.3 典型SAW传感器
7.3.1 SAW加速度传感器
7.3.2 SAW压力传感器
7.3.3 SAW温度传感器
7.3.4 SAW无源无线传感器
参考文献
第8章 薄膜传感器
第9章 隧道传感器
第10章 光学传感器
第11章 图像传感器
第12章 智能传感器
第13章 化学传感器
第14章 生物传感器
参考文献