低电压扫描电镜应用技术研究

第1章 概述1.1 扫描电镜简介1.1.1 扫描电镜特点1.1.2 扫描电镜的发展简史1.2 扫描电镜的原理1.3 扫描电镜的分辨率1.3.1 分辨率简介1.3.2 影响分辨率的因素1.3.3 分辨率测量1.4 扫描电镜图像衬度1.4.1 二次电子像1.4.2 材料衬度1.4.3 背散射电子像1.4.4 电位衬度1.4.5 通道效应衬度1.4.6 STEM分析
第2章 扫描电镜的荷电及解决方案2.1 荷电现象2.2 荷电机理2.3 荷电的解决方案2.3.1 镀膜2.3.2 采用低加速电压进行观察2.3.3 采用下探测器进行观察2.3.4 采用背散射电子像来进行观察2.3.5 采用快速扫描方式采集图像2.3.6 采用高加速电压击穿材料来减少荷电
第3章 低电压扫描电镜的技术突破及应用分析3.1 低电压扫描电镜电子枪类型3.2 低电压扫描电镜的重要突破3.3 低电压扫描电镜的技术发展3.3.1 减速模式3.3.2 探测器3.3.3 带像差校正的扫描电镜3.3.4 带单色器的超高分辨率扫描电镜3.4 低电压扫描电镜的应用3.4.1 在热敏感材料中的应用3.4.2 在石墨烯表征中的应用3.4.3 在纳米TiO2制备与表征中的应用3.4.4 在Ag／PVA纤维中的应用3.4.5 在离子表面改性研究中的应用3.5 低电压扫描电镜其他技术应用分析3.5.1 加速电压的影响3.5.2 低电压扫描电镜对介孔材料的表征
第4章 低电压能谱分析4.1 能谱分析概述4.2 低电压扫描电镜能谱微区分析特点4.3 低电压能谱定性、定量分析4.3.1 能谱面分布4.3.2 纳米镍颗粒的能谱面分布4.4 能谱面分布空间分辨率同加速电压的关系4.5 能谱面分布中的假象4.6 低电压能谱应用实例4.6.1 YAG陶瓷烧结机理研究4.6.2 介孔氧化硅
第5章 电子背散射衍射技术5.1 概述5.2 EBSD的主要特点5.3 EBSD的工作原理5.3.1 菊池带的产生原理5.3.2 晶面5.3.3 晶带轴5.3.4 欧拉角5.3.5 对称性5.3.6 霍夫变换5.3.7 相机常数5.4 EBSD可以实现的功能5.4.1 相鉴定5.4.2 取向的测量5.4.3 孪晶晶界分析5.4.4 晶粒形状、尺寸和分布测定