《氧化锌和氧化硅纳米薄膜材料的微结构和光学特性》系统地研究了氧化锌和氧化硅纳米材料的晶体结构、表面形貌和光发射等性质。全书共包括10章:第1章为绪论;第2章详细地介绍了纳米材料的发光理论研究;第3章一第8章全面系统地研究了采用射频磁控溅射制备的铝、镁、钛和铜掺杂氧化锌纳米薄膜以及多层膜的结构特征和光学性质;第9章全面系统地研究了采用磁控共溅射制备的锗镶嵌氧化硅、硅镶嵌氧化硅和碳镶嵌氧化硅纳米薄膜的光学性质;第10章为部分主要结论。《氧化锌和氧化硅纳米薄膜材料的微结构和光学特性》可以作为高等院校材料学和物理学及相关专业高年级本科生和研究生的参考书,也可作为从事纳米科技教学与研究工作者的参考用书。