射频等离子体物理学

第1章 概论
1．1 等离子体
1．2 微电子学中的等离子体工艺
1．3 等离子体推进
1．4 射频等离子体：E-H和w模式
1．5 内容简介
第2章 等离子体动力学与平衡
2．1 微观描述
2．2 宏观描述
2．3 整体粒子和能量平衡
2．4 电动力学描述
2．5 本章 总结
第3章 有界等离子体
3．1 空间电荷鞘层区
3．2 等离子体／鞘层过渡
3．3 等离子体区：输运模型
3．4 本章 总结
第4章 射频鞘层
4．1 响应时间
4．2 离子动力学
4．3 电子动力学
4．4 （高频）RF鞘层的解析模型
4．5 重要结果归纳
第5章 单频容性耦合等离子体
5．1 恒定离子密度下电流驱动的对称模型
5．2 非均匀离子密度的电流驱动模型
5．3 整体模型
5．4 其他放电参数范围及放电位形
5．5 重要结果归纳
第6章 多频容性耦合等离子体
6．1 静电近似下的双频CCP
6．2 高频情况下的电磁模式
6．3 重要结果归纳
第7章 感性耦合等离子体
7．1 电磁模型
7．2 等离子体自身的阻抗
7．3 变压器模型
7．4 纯感性放电的功率转换效率
7．5 容性耦合
7．6 整体模型
7．7 重要结果归纳
7．8 进一步考虑
第8章 螺旋波等离子体
8．1 在无界等离子体中的平行传播
8．2 柱状等离子体中传播的螺旋波
8．3 螺旋波模式存在的条件
8．4 波功率的吸收：加热
8．5 E-H-w模式转换
8．6 重要结果归纳
第9章 真实等离子体
9．1 高密度等离子体
9．2 磁化等离子体
9．3 电负性等离子体
9．4 扩展等离子体
第10章 电测量
10．1 静电探针
10．2 用于射频等离子体的静电探针
10．3 减速场分析器
10．4 共振及波诊断
10．5 重要结果归纳
附录：习题解
参考文献