高动态微系统与MEMS引信技术（套装上下册）

《上册》：
第1章 微系统技术基础
1．1 微系统的定义和超越摩尔定律
1．1．1 微系统的定义
1．1．2 微系统的功能及意义
1．1．3 超越摩尔定律
1．1．4 微系统的主要特点
1．2 微系统发展的迫切性
1．2．1 发展微系统的迫切性和意义
1．2．2 不断增长的市场需求
1．2．3 微系统的发展历程
1．3 关键推动技术
1．3．1 微系统设计思想
1．3．2 异质集成技术
1．3．3 先进功能材料技术
1．3．4 仿真验证及可靠性测试技术
1．4 微系统制造典型工艺——硅基工艺
1．4．1 硅基表面加工和体加工技术概述
1．4．2 光刻
1．4．3 薄膜沉积
1．4．4 掺杂
1．4．5 刻蚀
1．4．6 SOI+DRIE技术在微系统中的应用
1．5 微系统制造典型工艺——非硅基工艺
1．5．1 非硅微加工技术及其特点
1．5．2 非硅基MEMS技术中的LIGA工艺
1．5．3 在军事上最具前景的UV-LIGA技术
1．6 小结
参考文献
第2章 高动态微系统
2．1 高动态微系统内涵
2．1．1 高动态环境下的微系统
2．1．2 尺寸效应下高动态微系统的挑战
2．1．3 高动态微系统的优势
2．2 高动态微系统的工作环境及特点
2．3 高动态微系统设计及关键功能器件
2．3．1 高动态微系统设计思想
2．3．2 高动态环境下微传感器技术
2．3．3 高动态环境下执行器技术
2．3．4 高动态环境下微电源技术
2．3．5 高动态微系统精确时钟控制技术
2．4 高动态微系统关键集成技术
2．4．1 高动态微系统双向流程集成技术
2．4．2 高动态微系统加固技术
2．4．3 高动态微系统可靠性及抗干扰技术
2．5 高动态微系统发展现状及趋势
2．5．1 航空航天高动态微系统
2．5．2 高动态微系统在兵器中的应用
2．5．3 微型多功能作战平台
2．6 小结
参考文献
第3章 微系统互连技术
3．1 引线键合技术
3．1．1 引线键合技术概述
3．1．2 引线键合形式
3．1．3 引线键合质量评估和失效分析
3．2 导电聚合物键合技术
3．2．1 导电聚合物键合简介
3．2．2 导电黏结剂综述
3．2．3 聚合物键合工艺
3．2．4 聚合物键合质量控制
3．3 倒装芯片及多芯片组件技术
3．3．1 倒装芯片技术概述
3．3．2 倒装芯片加工技术
3．3．3 多芯片组件技术
……
第4章 微系统封装集成技术
第5章 高动态微系统的力学防护技术
第6章 高动态微系统的可靠性及失效机理
第7章 传感器、执行器和供电一体化集成微系统
《下册》：
第8章 MEMS引信总体技术
8．1 现代引信本质与内涵
8．2 微系统技术在引信中的应用
8．3 国外MEMS引信现状
8．3．1 典型的MEMS引信器件
8．3．2 典型的MEMS引信组件
8．3．3 MEMS引信系统级集成
8．4 集成化MEMS引信技术——片上引信
8．4．1 片上引信——MEMS引信发展方向
8．4．2 片上引信的技术优势
8．4．3 片上引信集成化方法
8．4．4 片上引信加工、集成与检测技术
8．5 小结
参考文献
第9章 MEMS安全系统结构、作用及设计方法
9．1 MEMS安全系统的优势
9．1．1 可靠性大幅提升
9．1．2 抗高过载性能显著提高
9．1．3 新材料的引入带来性能提升
9．2 国外典型MEMS安全系统介绍
9．3 典型MEMS安全系统设计方法
9．3．1 镍基典型MEMS安全系统的设计方法
9．3．2 基于混合工艺典型超精细加工安全系统的设计方法
9．3．3 硅基MEMS安全系统的设计方法
9．4 MEMS安全系统发展趋势及未来
参考文献
第10章 含能微器件及其系统
10．1 基本概念、常用术语及分类
10．1．1 基本概念
10．1．2 常用术语
10．1．3 分类
10．2 应用背景及设计特点
10．2．1 常用含能材料及能量特性
10．2．2 微型换能元
10．2．3 微型推冲器
10．2．4 微型雷管或微型起爆器
10．2．5 微型传爆序列
10．2．6 微型含能执行机构
参考文献
第11章 引信RFMEMS技术
11．1 概述
11．1．1 典型RFMEMS器件及技术现状
11．1．2 无线电引信用RFMFMS技术
11．2 典型MEMS微电感——悬浮螺旋电感器
11．2．1 等截面式悬浮螺旋电感器
11．2．2 阶梯式悬浮螺旋电感器
11．3 高性能射频MEMS振荡器
11．3．1 基本技术
11．3．2 技术指标
11．3．3 典型应用
参考文献
第12章 智能弹药及引信用微惯性器件
12．1 概述
12．2 MEMS加速度计与惯性开关技术
12．2．1 MEMS加速度计与惯性开关的工作原理
12．2．2 典型引信用MEMS加速度计与惯性开关的设计
12．2．3 典型MEMS加速度计与惯性开关的制作技术
12．2．4 典型MEMS加速度计与惯性开关的测试
12．2．5 MEMS加速度计与惯性开关的性能指标
……
第13章 引信专用芯片
第14章 MSMS引信用固态控制器