章 微制造基础
1.1 引言
1.2 微成形(微尺度变形加工)
1.2.1 微成形加工中的尺寸效应
1.2.2 微尺度变形数值仿真
1.3 分立零件微制造的机械微加工
1.3.1 机械微加工中的尺寸效应
参考文献
第二章 半导体工业中的微制造工艺
2.1 引言
2.2 半导体衬底
2.2.1 硅
2.2.2 硅片制造
2.2.3 硅的氧化
2.2.4 碳化硅(SiC)与砷化镓(GaAs)
2.3 化学气相沉积(CVD)
2.3.1 CVD的类型
2.3.2 CVD生长的优缺点
2.4 光刻技术
2.5 物理气相沉积(PVD)
2.6 干法刻蚀技术
2.7 湿法体材料微加工
2.8 总结
参考文献
第三章 微尺度建模与分析
3.1 引言
3.2 微尺度下连续介质模型局限性
3.3 修正的连续介质模型
3.4 分子动力学模拟及其局限性
3.5 微尺度模拟方法实例及其相互比较
3.5.1 均匀摩擦下多晶体各向异性有限元法
3.5.2 利用性原理计算电子态获得原子间势对摩擦界面进行分子动力学模拟
3.5.3 晶体塑性有限元与分子动力学结合(注射—镦粗)
3.6 总结、结论以及待研究的问题
参考文献
第四章 微尺度测量、检测与加工控制
4.1 引言
4.2 空间检测
4.2.1 光学方法
4.3 数字全息成像显微系统
4.3.1 扫描式电子显微镜
4.4 微坐标测量机——μCMM
4.5 扫描式探针显微镜
4.5.1 微计算机X射线照相术
4.5.2 扫描声学显微镜
4.5.3 微机械部件的测温
4.6 机械特性的测量
4.6.1 拉曼光谱法
4.6.2 弯曲测试
4.6.3 拉伸测试
4.6.4 界面特性
参考文献
第五章 分层微制造
5.1 引言
5.1.1 历史
5.1.2 加工步骤
5.1.3 分层制造的优势
5.2 分层制造工艺
5.2.1 分类
5.2.2 工艺细节
5.3 材料和分层制造加工能力
5.3.1 材料
5.3.2 分层制造加工能力
5.4 分层制造技术的应用
5.4.1 快速成型
5.4.2 快速模具
5.4.3 快速／直接制造
5.5 发展趋势
参考文献
第六章 激光微加工
6.1 引言
6.2 激光辐射、吸收和热效应
6.3 激光加工材料
6.3.1 激光加工金属和合金
6.3.2 激光加工处理聚合物和复合材料
6.3.3 激光加工处理玻璃和硅
6.3.4 激光加工陶瓷与硅
6.4 激光加工工艺参数
6.4.1 激光光斑尺寸和光束质量
6.4.2 峰值功率
6.4.3 脉冲持续时间
6.4.4 脉冲重复率
6.5 超短脉冲激光烧蚀
6.5.1 双温传热
6.5.2 表面的电子发射和库仑爆炸
6.5.3 电子发射形成早期等离子体
6.5.4 流体动力学膨胀
6.6 纳秒脉冲激光烧蚀
6.6.1 烧蚀机理
6.6.2 双脉冲激光烧蚀
6.6.3 纳秒激光诱导等离子体
6.7 激光冲击强化
6.7.1 激光冲击强化加工
6.7.2 激光冲击强化物理学
6.7.3 LSP对材料机械特性的影响
6.7.4 LSP的优势、劣势和应用
参考文献
第七章 聚合物微成型／成形工艺
7.1 引言
7.2 微模具成型用聚合物材料
7.3 微模具成型工艺分类
7.4 微模具成型加工普遍动力学
7.5 微注射模具成型
7.5.1 微注射成型设备
7.5.2 注射模具快速热循环
7.5.3 微注射模具成型工艺策略
7.6 热模压
7.6.1 高效热循环
7.6.2 恒温模压成型
7.6.3 贯穿厚度压印
7.6.4 壳体图案模压
7.6.5 模压成形压力实现
7.7 微模具制造
7.8 结论与正在进行的研究
参考文献
第八章 机械微制造
8.1 引言
8.2 微尺度下材料去除
8.2.1 尺寸效应
8.2.2 极限切削厚度
8.2.3 微结构和晶粒尺寸影响
8.3 刀具几何、磨损与变形
8.3.1 微型刀具几何形状与涂层
8.3.2 微切削刀具磨损机理
8.3.3 动态载荷下刀具刚度和变形
8.4 微车削
8.4.1 作为刀具材料的金刚石
8.4.2 金刚石微切削
8.5 微端铣
8.5.1 微型铣刀
8.5.2 微铣削力学
8.5.3 微铣削数值分析
8.5.4 微铣削动态特性
8.5.5 微端铣工艺规划
8.6 微钻削
8.7 微磨削
8.8 微机床
参考文献
第九章 微成形
9.1 引言
9.2 微锻造
9.3 微压印／模压
9.4 微挤压
9.5 微弯曲
9.6 微冲压成形
9.7 微拉深成形
9.8 微液压成形
9.9 微成形应用设备和系统
9.10 总结与未来工作
参考文献
第十章 微细电火花加工(μ-EDM)
10.1 引言
10.2 微细电火花加工工艺
10.2.1 微细电火花加工的物理原理
10.2.2 脉冲发生器／电源
10.2.3 微细电火花加工的变型
10.3 微细电火花加工工艺的参数控制
10.3.1 电参数
10.3.2 材料的性能参数
10.3.3 机械运动控制参数
10.4 微细电火花加工性能测试
10.4.1 材料去除率
10.4.2 工具电极损耗率
10.4.3 表面质量
10.4.4 电火花间隙／切缝宽度、间隙宽度
10.4.5 微细电火花加工小型化的公差和限制
10.5 微细电火花加工工艺应用与实例
10.5.1 在线电极制备
10.5.2 利用微细电火花加工刀具
10.5.3 制造用于钻孔的微型钻头(孔的尺寸与钻头相同)
10.5.4 重复的模式转移批量处理
10.5.5 成型加工微型腔和微型结构
10.5.6 微细电火花铣削制造三维微特征和微模具
10.5.7 微细电火花铣削精细特征
10.5.8 大深径比微孔和喷嘴制造
10.5.9 微细电火花加工的其他创新应用
10.6 微细电火花加工近的发展和研究
10.6.1 LIGA和微细电火花加工
10.6.2 微细电火花加工和微磨削
10.6.3 微细电火花加工和微细电解加工
10.6.4 微细电火花加工和微超声波加工
10.6.5 振动辅助微细电火花加工
10.6.6 混粉微细电火花加工
10.6.7 微细电化学放电加工
10.7 总结
参考文献
第十一章 微尺度金属粉末注射成型技术
11.1 金属注射成型技术介绍
11.2 微金属注射成型技术
11.3 原料准备
11.3.1 粉末
11.3.2 黏结剂
11.3.3 原材料的混炼
11.4 注射成型
11.4.1 微金属粉末注射成型技术的设备及工艺参数
11.4.2 微金属粉末注射成型技术的模具镶块
11.4.3 微金属粉末注射成型技术的变模温
11.5 脱脂
11.6 烧结
11.6.1 微结构的烧结
11.6.2 微齿轮的烧结
11.7 结束语
参考文献
主题词索引
鄂公网安备 42010302001612号 