激光等离子体极紫外光刻光源是下一代光刻的核心技术之一，广泛应用于半导体光电产业并对集成芯片向微型化和智能化发展具有极大的促进作用。《激光等离子体极紫外光刻光源》首先介绍了用于光刻的激光等离子体极紫外光源的国内外发展现状，并系统地阐述了激光等离子体光源的相关理论。其次介绍了用于6.7nm光源探测的平像场光栅光谱仪的设计、搭建及标定。最后，详细介绍了工作波长6.7nm极紫外光源离子碎屑特性及其阻挡的实验研究结果。《激光等离子体极紫外光刻光源》可作为光学、微电子等专业本科生的参考教材，也可作为激光与物质相互作用、激光等离子体、极紫外光刻技术、极紫外光辐射电子光谱术等领域的研究生、专业研究人员以及相关技术人员的参考用书。
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