微电子超声键合过程的相互作用与检测

目录：
1概述 / 1
1.1高速、 高可靠、 大容量物联网相关的微电子制造 / 1
1.2第五代移动通信网络时代的IC装备市场 / 4
1.3微互连制造面临的瓶颈和对策 / 5
2微芯片双悬臂结构动力学检测与分析 / 9
2.1引言 / 9
2.2叠层芯片动力学分析和测试 / 11
2.3三种激励下叠层芯片的响应 / 16
2.4双悬臂与底座的相互作用 / 21
2.5两悬臂互相作用的实测 / 26
2.6悬臂叠层芯片运动模式 / 30
2.7本章小结 / 33
3键合机理的主成分分析 / 35
3.1引言 / 35
3.2实验平台建立及数据采集 / 36
3.3功率设置及键合温度对键合强度、 换能系统驱动和振动的影响 / 41
3.4基于主成分分析的键合过程机理探讨 / 51
3.5全过程的主成分变化 / 73
3.6本章小结 / 74
4基于傅立叶分析和主成分分析的监测图像特征识别 / 76
4.1图像特征提取 / 76
4.2实验图像的获得和预处理 / 78
4.3基于傅立叶变换的图像特征提取 / 82
4.4基于主成分分析的图像特征提取 / 85
4.5本章小结 / 100
5胶液铺展过程检测与分析 / 103
5.1倒装芯片与底部填胶 / 103
5.2助焊剂涂敷方案 / 107
5.4检测设备 / 116
5.5涂胶检测实验平台硬件 / 120
5.6涂胶检测实验平台软件设计 / 124
5.7实验设备和实验过程 / 128
5.8图像处理 / 130
5.9结果分析 / 132
5.10本章小结 / 138
6相干衍射成像缺陷检测的支持域形状优化 / 140
6.1芯片堆叠制造的良率和成本 / 140
6.2三维物体二维成像时的识别与误判 / 141
6.3光波的标量衍射 / 145
6.4相位的迭代求解 / 147
6.5相位恢复及迭代投影算法 / 149
6.6相位恢复的泛函描述和算法 / 151
6.7相位恢复中的存在问题及改进设想 / 155
6.8本章小结 / 167
7引线折点拉弧动力学设计 / 170
7.1曲率与折点 / 170
7.2劈刀轨迹 / 174
7.3形成折点的弯矩 / 179
7.4本章小结 / 180
8探针触点电学特性的实验研究 / 182
8.1晶圆和TSV产品的堆叠故障 / 182
8.2晶圆探针测试面临的挑战 / 183
8.3实验用探针 / 184
8.4探针测试装置 / 186
8.5测试实验过程 / 190
8.6本章小结 / 195
9引线键合过程的动力学建模 / 197
9.1引线键合及其过程建模的意义 / 197
9.2实验现象总结和黏性项的引入 / 198
9.3微尺度动力学与关联维数 / 201
9.4由实测数据获得关联维数 / 203
9.5建模的仿真平台 / 205
9.6动力学模型基本参数的确定 / 206
9.7实验结果和仿真的对比 / 209
9.8关于黏性阻尼项和相平面轨迹的讨论 / 210
9.9总结与展望 / 212