多晶硅生产技术（第二版）

绪论1
0.1改良西门子法生产多晶硅1
0.2其他多晶硅生产方法4

项目一气体的制备与净化6
任务一气体的制备7
任务二气体净化19
【小结】28
【习题】29

项目二三氯氢硅的合成30
任务一液氯汽化31
任务二氯化氢的合成39
任务三三氯氢硅的合成46
【小结】66
【习题】66

项目三三氯氢硅精馏提纯68
任务一精馏提纯原理及相关计算68
任务二精馏提纯设备95
任务三精馏提纯工艺102
任务四精馏提纯操作104
任务五设备、管道的检修118
任务六故障处理121
【小结】128
【习题】128

项目四三氯氢硅氢还原制备高纯硅130
任务一知识准备130
任务二三氯氢硅氢还原工艺、核心设备结构及操作136
任务三设备、管道保养与维护151
任务四还原工序常见故障判断与处理155
任务五三氯氢硅氢还原工序产品质量要求及控制157
【小结】166
【习题】166

项目五尾气干法回收168
任务一还原尾气干法回收知识准备170
任务二识读还原尾气干法回收工艺流程173
任务三尾气干法回收主要设备174
任务四设备准备及安全检查183
任务五尾气干法回收原辅材料准备185
任务六尾气干法回收关键及核心设备操作187
任务七尾气回收故障处理192
任务八设备、管道保养与维护193
【小结】197
【习题】197

项目六四氯化硅的综合利用与处理199
任务一认识四氯化硅200
任务二四氯化硅氢化回收202
任务三四氯化硅处理的其他技术211
【小结】214
【习题】214

项目七硅芯的制备与腐蚀216
任务一硅芯的制备217
任务二硅芯腐蚀222
【小结】224
【习题】224

项目八纯水的制备225
任务一纯水制备225
任务二超纯水制备238
任务三纯水测量242
【小结】248
【习题】248

参考文献249